[发明专利]基于Ti/Al烧蚀层的冲击片换能元及其制备方法

权利要求书

1.基于Ti/Al烧蚀层的冲击片换能元，其特征在于，为Ti/Al/Al₂O₃/Al复合结构，以由Ti薄膜和Al薄膜组成的Ti/Al为烧蚀层、Al₂O₃薄膜为绝热层、Al薄膜为飞片层。

2.根据权利要求1所述的冲击片换能元，其特征在于，Ti/Al烧蚀层由厚度为0.01～0.13μmTi薄膜和0.13～0.25μmAl薄膜组成，Al₂O₃绝热层厚度为0.25μm，Al飞片层厚度为4.5μm。

3.根据权利要求1所述的冲击片换能元，其特征在于，Ti/Al烧蚀层由厚度为0.13μmTi薄膜和0.13μmAl薄膜组成。

4.根据权利要求1～3任一所述的冲击片换能元的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：

(1)将洁净的铝、钛、氧化铝靶材及玻璃衬底，置于射频磁控溅射系统中，待真空达到5×10^-3Pa、温度达到200℃时，通入氩气流量为8SCCM，进行离子束预溅射，离子束预溅射的束流维持在60mA，偏置电流为90mA，预溅射时间5min，活化玻璃衬底，使其形成倒悬键；

(2)待本底真空达到4×10^-3Pa、温度达到200℃时，在氩气流量30SCCM制备激光冲击片换能元，各靶材的溅射工艺如下表所示，制得Ti/Al/Al₂O₃/Al冲击片换能元，