[发明专利]钨钛合金靶坯的制备方法

权利要求书

1.一种钨钛合金靶坯的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤S1，备粉：将钨粉和钛粉混合均匀，得到钨钛合金粉末；

步骤S2，制模：使用金属钛焊接成型包套模具；

步骤S3，装模：用陶瓷纤维纸将包套模具内部铺满，然后依次放入镍基高温合金支撑板、陶瓷纤维纸、钨钛合金粉末、陶瓷纤维纸、镍基高温合金支撑板；镍基高温合金支撑板、陶瓷纤维纸、钨钛合金粉末、陶瓷纤维纸、镍基高温合金支撑板作为一个整体模块；所述模块在模具内至少有1个；密封包套模具；

步骤S4，脱气：将密封后的包套模具进行脱气处理；

步骤S5，热等静压烧结：将脱气处理后的包套模具进行热等静压烧结，热压温度为1150~1300℃，压力为120~150Mpa；

步骤S6，去包套，取出钨钛靶坯。

2.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤S1中，所述钨钛合金粉末中钨粉和钛粉的摩尔量比值为7：3~9：1。

3.如权利要求2所述的制备方法，其特征在于，所述钨粉和钛粉的纯度均≥99.9%。

4.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述镍基高温合金支撑板的厚度为6~15mm。

5.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述脱气的温度为450~550℃，保温时间为3~5h。

6.如权利要求5所述的制备方法，其特征在于，所述脱气升温速率为5~10℃/min，且炉温~150℃温度段的升温速率＞150~350℃温度段的升温速率＞350~450℃温度段的升温速率。

7.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述热等静压烧结过程中，保温保压时间为2~4h；所述热等静压烧结过程中，分段阶梯升温，升温速率为2~5℃/min，且炉温~500℃温度段的升温速率＞500~1000℃温度段的升温速率＞1000℃~热压温度温度段的升温速率。

8.如权利要求7所述的制备方法，其特征在于，所述热等静压烧结过程中，采用氩气作为压力介质。

9.一种钨钛合金靶坯，其特征在于，由权利要求1-8任一项所述的制备方法制备得到。

10.如权利要求9所述的钨钛合金靶坯在微波功率器件中的应用。