[发明专利]一种硅碳材料生产装置有效
申请号: | 202310238563.3 | 申请日: | 2023-03-07 |
公开(公告)号: | CN116411351B | 公开(公告)日: | 2023-09-26 |
发明(设计)人: | 谭志勇;谭志刚;刘勋;廖瑞德;杨波;周玉强 | 申请(专利权)人: | 襄阳鸿凯智能装备有限公司 |
主分类号: | C30B29/36 | 分类号: | C30B29/36;C30B15/36;C30B15/00 |
代理公司: | 广州辉久专利代理事务所(普通合伙) 44951 | 代理人: | 李辉 |
地址: | 441100 湖北省襄阳市东津新区(*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 材料 生产 装置 | ||
本发明属于硅碳材料生产领域,具体的说是一种硅碳材料生产装置,包括单晶炉;所述单晶炉的顶面按安装有上炉室;所述上炉室的侧表面开设有出料口;所述上炉室于出料口处滑动连接有弧形盖板;所述上炉室的顶部安装又升降提拉装置;所述提拉装置的顶部滑动连接板;所述连接板板的两侧安装有升降机,通过提拉装置使用提拉长晶法,将碳化硅棒提拉至上炉室,等待碳化硅棒冷却后,提拉装置带动上炉室沿着连接板滑动,之后再由升降机将提拉装置和上炉室一同放下,此时工人便可滑动弧形盖板,使得出料口打开,从而使得工人能顺利的将碳化硅棒取出,降低碳化硅棒发生碰撞的可能性,保证碳化硅棒的产品质量。
技术领域
本发明属于硅碳材料生产领域,具体的说是一种硅碳材料生产装置。
背景技术
碳硅是一种化学式为SiC的无机物,其由于化学性质稳定、导热系数高、热膨胀系数小、耐磨性好等特性,所以在工业的加工生产中,硅碳有着广泛的使用和相当重中的地位。
现有技术中,碳硅一般是由单晶炉进行制得,期间通过直拉单晶制造法,又称提拉法,将原料放入单晶炉中的坩埚中,待原料熔融后,将籽晶浸入液面之下,让熔体在籽晶的末端生成,然后缓慢的提拉旋转籽晶,从而生长出完成的碳化硅棒。
现有技术通过提拉法制取碳化硅,需将整个整个碳化硅棒,从坩埚中抽出,抽出碳化硅需要经过一段时间的冷却,才能被叉车运走,而冷却后的碳化硅较为脆弱,在取下的过程中容易发生损坏。
为此,本发明提供一种硅碳材料生产装置。
发明内容
为了弥补现有技术的不足,解决背景技术中所提出的至少一个技术问题。
本发明解决其技术问题所采用的技术方案是:本发明所述的一种硅碳材料生产装置,包括单晶炉;所述单晶炉的顶面按安装有上炉室;所述上炉室的侧表面开设有出料口;所述上炉室于出料口处滑动连接有弧形盖板;所述上炉室的顶部安装又升降提拉装置;所述提拉装置的顶部滑动连接板;所述连接板板的两侧安装有升降机;本发明实例中提拉装置由外部电动机驱动,可使提拉装置沿着连接板表面滑动,且连接关系为现有技术不做多余赘述;工作时,通过提拉装置使用提拉长晶法,将碳化硅棒提拉至上炉室,等待碳化硅棒冷却后,提拉装置带动上炉室沿着连接板滑动,之后再由升降机将提拉装置和上炉室一同放下,此时工人便可滑动弧形盖板,使得出料口打开,从而使得工人能顺利的将碳化硅棒取出,降低碳化硅棒发生碰撞的可能性,保证碳化硅棒的产品质量。
优选的,所述提拉装置包括外壳;所述外壳内部安装有卷扬机;所述卷扬机的绕线杆表面固连有牵引绳;所述牵引绳远离卷扬机的一端设置有连接杆;所述连接杆靠近出料口的一侧开设有T形槽;所述T形槽内卡接有籽晶;工作时,通过连接杆上的T形槽卡入,同时由于T形槽的槽口面向出料口,也能方便之后工人将籽晶连同碳化硅棒一起取下,从而方便工人之后的籽晶更换。
优选的,所述连接杆的顶面固连有楔形柱;所述楔形柱的顶面设置有与其顶面相适配的套杆;所述套杆的顶面与牵引绳固连;所述套杆内固连有电机;所述电机的输出端与楔形块之间固连有弹性杆;工作时,通过楔形柱带动连接杆转动,由此实现在提拉籽晶的同时,旋转籽晶,从而保证碳化硅晶体生长的更加均匀,而楔形柱与套杆相互适配,则能是保证楔形柱在停止旋转时,能使连接杆表面的T形槽朝向出料口,进而方便工人上下料操作。
优选的,所述套杆靠近楔形柱的一端开设有多个均匀设置的凹槽;所述凹槽内均转动连接有滚珠;工作时,当套杆与楔形柱发生相对转动时,凹槽的内滚珠会代替套杆与楔形柱发生接触,之后再通过滚珠的转动减少套杆与楔形柱表面的摩擦,进而提高本发明实施的使用寿命。
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