[发明专利]桌面型旋涂设备

权利要求书

1.一种桌面型旋涂设备，其特征在于，包括：

壳体，包括外壳主体(8)和盖板(5)，所述盖板(5)安装在所述外壳主体(8)上部，所述外壳主体(8)内部设置有匀胶腔体(6)；

托盘单元(4)，安装在所述壳体内，所述托盘单元(4)包括基片托盘(41)，所述基片托盘(41)位于所述匀胶腔体(6)内，所述基片托盘(41)用于承载基片(7)；

点胶单元(1)，安装在所述盖板(5)上，所述点胶单元(1)与所述基片(7)位置对应，所述点胶单元(1)用于对基片(7)点胶；

去边单元(2)，安装在所述壳体上，所述去边单元(2)与所述基片(7)的边缘位置对应，所述去边单元(2)用于去除基片(7)边缘的纳米压印胶；

背洗单元(3)，安装在所述外壳主体(8)内，所述背洗单元(3)用于清洗反弹到基片(7)背面的纳米压印胶。

2.根据权利要求1所述的桌面型旋涂设备，其特征在于，所述匀胶腔体(6)包括：

匀胶腔(61)，位于外壳主体(8)的内部，所述匀胶腔(61)位于所述基片(7)的外侧，所述匀胶腔(61)底部设置有废液口(62)，

废液排放结构，包括废液容器(63)，所述废液容器(63)安装在所述外壳主体(8)内部，所述废液容器(63)与所述废液口(62)连接，所述废液容器(63)的底部设置有废液排放阀(64)，所述废液排放阀(64)用于将废液排出。

3.根据权利要求2所述的桌面型旋涂设备，其特征在于，

所述基片托盘(41)上表面设有真空孔和真空槽，所述真空孔与所述真空槽连通；

所述托盘单元(4)包括真空泵(45)，所述真空泵(45)通过气管(17)与真空孔连接，以使所述基片托盘(41)的上表面形成负压吸附所述基片(7)。

4.根据权利要求3所述的桌面型旋涂设备，其特征在于，

所述基片托盘(41)的下方设置有固定槽(43)；

所述托盘单元(4)还包括旋转电机(44)，所述旋转电机(44)设置有固定销(42)，所述固定小于所述固定槽(43)卡接，所述旋转电机(44)用于带动基片托盘(41)旋转；

所述旋转电机(44)和所述真空泵(45)位于所述匀胶腔(61)外。

5.根据权利要求1至4任一项所述的桌面型旋涂设备，其特征在于，所述去边单元(2)包括：

固定杆(21)，固定在所述盖板(5)的下表面，所述固定杆(21)位于所述匀胶腔(61)的内部；

第一出液头(23)，通过角度调整轴(22)与所述固定杆(21)连接，所述第一出液头(23)位于所述基片(7)上方，所述第一出液头(23)位于所述匀胶腔(61)的内部，所述角度调整轴(22)用于调整所述出液头的角度，所述第一出液头(23)可绕所述角度调整轴(22)旋转，以用于调节基片(7)去边的尺寸；

去边液储存结构，包括第一输液管(24)、第一压力罐(25)和第一液体泵(26)，所述第一压力罐(25)内存储有去边液，所述第一压力罐(25)位于所述匀胶腔(61)的外部，所述第一输液管(24)连接所述第一出液头(23)与所述第一压力罐(25)，所述第一输液管(24)上设置所述第一液体泵(26)，以将所述去边液喷出，所述第一压力罐(25)设有第一加注口(251)。