[发明专利]中介电常数低损耗高物理性能的微波介质陶瓷的制备方法

权利要求书

1.一种中介电常数低损耗高物理性能的微波介质陶瓷的制备方法，其特征在于，依次包括如下步骤：

S1按如下摩尔比准备化学原料MgO∶ZnO∶CaCO₃∶Sm₂O₃∶TiO₂＝0.45-0.85∶0.03-0.38∶0.04-0.15∶0.01-0.10∶1；

S2将上述化学原料置入球磨罐中混合，加入氧化锆球和去离子水，球磨36小时；

S3将物料置于干燥箱中，在100～150℃下烘干，烘干后过60目筛；

S4将过筛后的粉料在1100～1150℃煅烧3小时，将粉料进行预合成；

S5预合成粉料中加入15wt％的聚乙烯醇水溶液，置于球磨罐中，加入氧化锆球和去离子水，球磨48小时，采用喷雾干燥塔造粒；

S6用压片机压制成型为坯体；

S7将上述坯体于1340～1400℃下烧结，保温3小时，得到产品。

2.根据权利要求1所述的中介电常数低损耗高物理性能的微波介质陶瓷的制备方法，其特征在于，化学原料MgO纯度≥99.6％、ZnO纯度≥99.6％、CaCO₃纯度≥99.9％、Sm₂O₃纯度≥99.9％、TiO₂纯度≥99.9％。

3.根据权利要求1所述的中介电常数低损耗高物理性能的微波介质陶瓷的制备方法，其特征在于，步骤S2的球磨是在卧式球磨机上进行，化学原料与去离子水与氧化锆球的质量比为1：1.5：1.5，粒度要求：D10≤0.5um、D50≤1.5um、D90≤3.5um。

4.根据权利要求1所述的中介电常数低损耗高物理性能的微波介质陶瓷的制备方法，其特征在于，步骤S5的球磨是在卧式球磨机上进行，预合成粉料与去离子水与氧化锆球的质量比为1：1：1.5，粒度要求：D10≤0.5um、D50≤1.0um、D90≤3.0um。

5.根据权利要求1所述的中介电常数低损耗高物理性能的微波介质陶瓷的制备方法，其特征在于，步骤S6的坯体是以10MPa的压力压制成型，为Φ14.7mm×7.3mm的圆柱形坯体，其压制密度为2.5g/cm³。

6.根据权利要求1所述的中介电常数低损耗高物理性能的微波介质陶瓷的制备方法，其特征在于，步骤S7得到的产品介电常数为26.5～29.2，品质因数为61200～75000GHz，-40～110℃谐振频率温度系数为-2.0～2.0ppm/℃，弯曲强度≥180N，35～600℃热膨胀系数10.5ppm/℃，弹性模量≥200GPa。