[发明专利]一种光刻胶组合物及其制备方法

权利要求书

1.一种光刻胶组合物，其特征在于，包括以下质量份数的原料：

所述光刻胶组合物的制备方法，包括以下步骤：

步骤一：避光条件下，取二分之一质量份数的溶剂放置于反应容器中，氮气排空，后持续通入氮气，加入质量份数的金属团簇物，搅拌混合均匀，加入质量份数的三苯基硫鎓盐，继续搅拌混合均匀，得到混合物A；

步骤二：避光条件下，取剩余质量份数的溶剂放置于反应容器中，氮气排空，后持续通入氮气，加入取质量份数的对羟基苯乙烯共聚物、环氧乙烷和自由基光引发剂，搅拌混合均匀，得到混合物B；

步骤三：避光条件下，将步骤一得到的混合物A、步骤二得到的混合物B混合，磁力搅拌3～12h，得到光刻胶组合物。

2.根据权利要求1所述的光刻胶组合物，其特征在于，所述对羟基苯乙烯共聚物结构通式为：

其中，官能团R为

中的一种或几种。

3.根据权利要求1所述的光刻胶组合物，其特征在于，所述三苯基硫鎓盐的结构通式为：

其中R为卤素阴离子、对羟基苯磺酸阴离子、六氟磷酸根阴离子、磺酸根阴离子、三氟甲磺酸根阴离子中的一种或几种。

4.根据权利要求1所述的光刻胶组合物，其特征在于：所述金属团簇物为以金属Sn、Zn、Zr、Sb、Ti中的一种为核心，以甲基丙烯酸、三氟乙酸、4-甲基吡唑、2-(三氟甲基)丙烯酸、含芳环有机羧酸中的一种或几种为配体构成的金属团簇物，金属核心数为4个、6个或8个。

5.根据权利要求4所述的光刻胶组合物，其特征在于：所述金属团簇物为以四个金属原子为核心的金属团簇物，其结构式为：

其中M代表金属原子、R代表配体。

6.根据权利要求1所述的光刻胶组合物，其特征在于：所述环氧乙烷为枝状环氧乙烷树脂，为：

中的一种或几种。

7.根据权利要求1所述的光刻胶组合物，其特征在于：所述自由基光引发剂为2-羟基-2-甲基-1-苯基丙酮、1-羟基环己基苯基甲酮、异丙基噻吨酮按照质量比为1：3～5：2混合而成。

8.根据权利要求1所述的光刻胶组合物，其特征在于：所述溶剂为二乙二醇单甲醚、乙酸乙酯、乙酸正丁酯、环戊酮、环已酮中的一种或几种。