[发明专利]用于高光谱激光雷达的阵列选谱装置、系统及方法在审
| 申请号: | 202310098224.X | 申请日: | 2023-01-20 |
| 公开(公告)号: | CN116068532A | 公开(公告)日: | 2023-05-05 |
| 发明(设计)人: | 李锋;朱精果;刘汝卿;蒋衍;孟柘 | 申请(专利权)人: | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号: | G01S7/487 | 分类号: | G01S7/487;G01S7/4865;G01S17/894 |
| 代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 周天宇 |
| 地址: | 100029 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 用于 光谱 激光雷达 阵列 装置 系统 方法 | ||
1.一种用于高光谱激光雷达的阵列选谱装置,所述阵列选谱装置用于对目标回波进行滤光和选谱,其特征在于,所述阵列选谱装置包括依次排列的微透镜阵列(1)、微腔阵列(2)和探测器阵列(3),其中:
所述微透镜阵列(1)包括m行k列的微透镜,用于将所述目标回波汇聚至所述微腔阵列(2)上;
所述微腔阵列(2)包括m行k列的微腔,通过控制每个所述微腔的腔长,以选择每个所述微腔通过的中心波段,进行目标回波的阵列选谱,并将所述中心波段投射至所述探测器阵列(3)上;
所述探测器阵列(3)包括m行k列的探测器,接收所述微腔阵列(2)投射的不同中心频谱的单色光,并将该中心频谱的单色光转换为电信号,得到所述目标回波的光谱信息。
2.根据权利要求1所述的用于高光谱激光雷达的阵列选谱装置,其特征在于,所述微透镜阵列(1)包括m×k个结构相同的微透镜,用于将目标回波分成m×k个区域,并汇聚成m×k个焦点。
3.根据权利要求1所述的用于高光谱激光雷达的阵列选谱装置,其特征在于,所述m行k列的微腔采用MEMS工艺且集成在同一基座上,每个所述微腔单独控制且包括相同的结构,以形成所述微腔阵列(2)。
4.根据权利要求3所述的用于高光谱激光雷达的阵列选谱装置,其特征在于,所述探测器阵列(3)包括m×k个探测器,每个所述探测器对应接收所述微腔阵列(2)微腔投射的不同中心频谱的单色光。
5.根据权利要求1所述的用于高光谱激光雷达的阵列选谱装置,其特征在于,所述探测器阵列(3)为APD探测器阵列,所述APD探测器阵列包括m行k列的雪崩光电二极管。
6.一种用于高光谱激光雷达的阵列选谱系统,其特征在于,包括:输入模块、转折反射镜(6)、阵列选谱装置以及输出模块,其中,所述阵列选谱装置采用上述权利要求1-5中任一项所述的用于高光谱激光雷达的阵列选谱装置,所述输入模块用于发射激光并投射到探测目标(8)上产生目标回波,产生的所述目标回波再返回至所述输入模块,由输入模块将所述目标回波反射至所述转折反射镜(6)上,再由所述转折反射镜(6)将所述目标回波依次反射至所述微透镜阵列(1)、所述微腔阵列(2)和所述探测器阵列(3),并转换为电信号,所述电信号进入输出模块,由所述输出模块将所述电信号转换为所述目标回波的光谱信息。
7.根据权利要求6所述的用于高光谱激光雷达的阵列选谱系统,其特征在于,所述输出模块包括依次设置的超连续谱激光器(4)、抛物面镜(5)以及二维扫描机构(7),其中:
所述超连续谱激光器(4),用于发射激光;
所述抛物面镜(5),用于反射所述目标回波至所述转折反射镜(6);
所述二维扫描机构(7),用于扫描发射的激光。
8.根据权利要求6所述的用于高光谱激光雷达的阵列选谱系统,其特征在于,所述输出模块包括依次设置的数据采集模块(9)以及计算机(10),所述数据采集模块(9)用于对所述电信号进行信息采集,并传输给所述计算机(10)。
9.根据权利要求7所述的用于高光谱激光雷达的阵列选谱系统,其特征在于,所述抛物面镜(5)包括凹反射镜,所述转折反射镜(6)包括平面反射镜。
10.一种应用于权7-9中用于高光谱激光雷达的阵列选谱方法,包括:
超连续谱激光器(4)发射连续的激光依次穿过抛物面镜(5)以及二维扫描机构(7),再投射到探测目标(8)上产生目标回波;
所述目标回波回经二维扫描机构(7)以及抛物面镜(5),由所述抛物面镜(5)反射所述目标回波至转折反射镜(6)上;
所述转折反射镜(6)将所述目标回波反射至微透镜阵列(1)上进行阵列选谱;
所述微透镜阵列(1)将所述目标回波分别汇聚至微腔阵列(2)上的m×k个区域;
所述微腔阵列(2)对聚焦后m×k个区域的目标回波进行滤光,选择预设中心波段,并投射至探测器阵列(3)上;
所述探测器阵列(3)分别接收m×k个区域对应的预设中心波段,并转换为电信号,得到目标回波的光谱信息。
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