[发明专利]弹性波装置、滤波器及电子设备

权利要求书

1.一种弹性波装置，包括压电层、位于所述压电层上的叉指换能器以及设置于所述叉指换能器相对两侧的反射结构，其特征在于，所述叉指换能器包括相对设置的两个汇流条以及多个电极指，所述电极指的一端连接于一所述汇流条，所述电极指的另一端向另一所述汇流条延伸，连接两个所述汇流条的多个所述电极指在声波传播方向上依次间隔设置形成一交替区域；

所述弹性波装置还包括温度补偿层与质量层，所述温度补偿层设于所述压电层设有所述叉指换能器的一侧，并至少覆盖所述叉指换能器的所述交替区域，所述质量层设置于所述温度补偿层背对所述叉指换能器的一侧，且位于所述交替区域。

2.如权利要求1所述的弹性波装置，其特征在于，所述交替区域包括中间区域和位于所述中间区域两侧的边缘区域；

所述弹性波装置还包括质量负载结构，在俯视方向上，所述质量负载结构位于所述边缘区域。

3.如权利要求2所述的弹性波装置，其特征在于，所述质量负载结构设置于所述质量层面对所述温度补偿层的一侧；或，

所述质量负载结构设置于所述质量层背对所述温度补偿层的一侧。

4.如权利要求2所述的弹性波装置，其特征在于，所述质量负载结构包括多个质量负载块，在多个所述电极指的排布方向上，多个所述质量负载块依次间隔设置，且在俯视方向上，至少部分所述电极指与至少一个所述质量负载块重叠。

5.如权利要求2所述的弹性波装置，其特征在于，在俯视方向上，所述质量负载结构与多个所述电极指33以及相邻两个所述电极指33之间的间隙重叠。

6.如权利要求2所述的弹性波装置，其特征在于，所述质量层的密度大于4.5g/cm³；和/或，

所述质量负载结构的密度大于4.5g/cm³。

7.如权利要求2所述的弹性波装置，其特征在于，所述质量层的材料包括铝、铜、钨、钼、金、银、铂与铬中的至少一种；和/或，

所述质量负载结构的材料包括铝、铜、钨、钼、金、银、铂与铬中的至少一种。

8.如权利要求2所述的弹性波装置，其特征在于，所述质量层包括一层金属膜或依次层叠设置的多层金属膜；和/或，

所述质量负载结构包括一层金属膜或依次层叠设置的多层金属膜。

9.如权利要求2所述的弹性波装置，其特征在于，所述叉指换能器还包括间隙区域，所述间隙区域邻接于所述边缘区域背对所述中间区域的一侧；

所述弹性波装置还包括高声速层，所述高声速层至少设置于所述间隙区域，所述高声速层被配置为增大所述高声速层所在区域对应的声速。

10.如权利要求9所述的弹性波装置，其特征在于，所述弹性波装置还包括边侧区域，所述边侧区域邻接于所述间隙区域背对所述边缘区域的一侧，且所述汇流条的至少一部分位于所述边侧区域，其中，所述边侧区域对应的声速大于所述中间区域对应的声速。

11.如权利要求10所述的弹性波装置，其特征在于，所述高声速层设于所述间隙区域以及所述边侧区域。

12.如权利要求9所述的弹性波装置，其特征在于，所述高声速层的材料包括氮化硅、氧化铝以及碳化硅中的任意一种或多种。

13.如权利要求9所述的弹性波装置，其特征在于，在所述电极指延伸方向上，所述间隙区域的长度小于或等于λ，其中，λ为所述电极指的周期。

14.如权利要求10所述的弹性波装置，其特征在于，在所述电极指延伸方向上，所述间隙区域的长度小于或等于0.5λ，其中，λ为所述电极指的周期。