[发明专利]一种双面水冷负压夹具

权利要求书

1.一种双面水冷负压夹具，包括夹具和被测试器件，被测试器件夹持在夹具内，其特征在于：所述夹具包括夹具座、探针座、水接头，所述夹具座包括上夹具座、下夹具座，器件托板位于上夹具座和下夹具座之间，被测试器件位于器件托板上，所述上夹具座和下夹具座分别具有水冷通道，所述探针座包括前探针座和后探针座，所述前探针座安装在夹具座的前端，所述后探针座安装在夹具座的后端，所述负压水接头分别与上夹具座、下夹具座内的水冷通道连接，所述负压水接头连接外部负压水冷设备。

2.根据权利要求1所述的一种双面水冷负压夹具，其特征在于：所述上夹具座包括上散热板和上散热盖板，所述下夹具座包括下散热板和下散热盖板，所述上散热板和下散热板上设有平行的散热翅片，上散热盖板和下散热盖板内部凹陷成水冷槽，上散热板与上散热盖板以及下散热板与下散热盖板之间采用O型密封圈密封，上散热板与上散热盖板以及下散热板与下散热盖板之间形成水冷通道，所述上散热盖板和下散热盖板上设有进水口，所述进水口设有水转向接头，进水口处水转向接头与上散热盖板以及下散热盖板之间设有O型密封圈。

3.根据权利要求1所述的一种双面水冷负压夹具，其特征在于：所述器件托板上表面设有器件定位凹槽，器件托板侧面设有高压防护齿槽，器件托板的中心设置有导热板。

4.根据权利要求3所述的一种双面水冷负压夹具，其特征在于：所述导热板中心设置有测温传感器，测温传感器采用测温传感器压板固定。

5.根据权利要求3所述的一种双面水冷负压夹具，其特征在于：所述器件托板的四角设有定位安装孔，所述器件托板通过定位螺钉固定在下散热板上，所述定位螺钉里面设有定位弹簧，安装后的器件托板呈浮动式。

6.根据权利要求1所述的一种双面水冷负压夹具，其特征在于：所述负压水接头与水转向接头连接，水转向接头与负压水接头之间设有防水垫片。

7.根据权利要求6所述的一种双面水冷负压夹具，其特征在于：所述负压水接头的水转接头与弹簧水管连接，水转接头与弹簧水管之间还设有弹性钢套，水转接头与弹簧水管连接的内部设有防水O型密封圈。

8.根据权利要求1所述的一种双面水冷负压夹具，其特征在于：所述上夹具座的上散热板和下夹具座的下散热板上两端分别设有安装孔和定位孔，所述定位孔内安装定位销，上散热板和下散热板通过安装孔采用松不脱螺钉固定。

9.根据权利要求1-8任一项所述的一种双面水冷负压夹具，其特征在于：所述探针座包括探针板和探针组，所述探针组包括探针和探针套，所述探针套紧固在探针板的孔内，探针可以在探针套内拔插，探针套尾部焊接引线。

10.根据权利要求1所述的一种双面水冷负压夹具，其特征在于：所述被测试器件为AHPM15-CEA卧式器件或者AHPM15-CEA立式器件。