[发明专利]电晕放电处理装置及处理方法、膜制造系统及膜制造方法

权利要求书

1.一种电晕放电处理装置，其特征在于，

通过在处理对象物的表面上产生电晕放电来进行所述处理对象物的表面处理，

所述电晕放电处理装置包括：

辊，其具有导电性，能够以第1轴为旋转轴进行旋转；

轴，其具有导电性，与所述辊一体形成，能够以所述第1轴为旋转轴进行旋转；

轴承，其将所述轴以旋转自如的状态支承；

电极，其在与所述辊相对的位置上与所述辊分离配置；

高频电源，其与所述电极连接，在所述电极和所述辊之间产生电晕放电；和

AC/DC转换器，其将交流电流转换为直流电流，其中，所述交流电流基于通过在所述电极与所述辊之间产生电晕放电而在所述辊上产生的电荷。

2.根据权利要求1所述的电晕放电处理装置，其特征在于，

具备蓄电器，其蓄积基于从所述AC/DC转换器输出的直流电流的电力。

3.根据权利要求2所述的电晕放电处理装置，其特征在于，

具备与所述蓄电器连接的负载。

4.根据权利要求3所述的电晕放电处理装置，其特征在于，包括：

开关，其介于所述蓄电器和所述负载之间；和

控制装置，其检测所述蓄电器的状态，根据检测结果控制所述开关的开闭。

5.根据权利要求1所述的电晕放电处理装置，其特征在于，包括：

切换开关，其与所述AC/DC转换器的输出端子连接；

蓄电器，其与所述切换开关的第1输出侧端子连接；

开关，其与所述蓄电器连接；

第1负载，其与所述开关连接；和

第2负载，其与所述切换开关的第2输出侧端子连接。

6.根据权利要求5所述的电晕放电处理装置，其特征在于，

具备控制装置，其检测所述蓄电器的状态，根据检测结果控制所述切换开关的切换以及所述开关的开闭。

7.根据权利要求6所述的电晕放电处理装置，其特征在于，

所述第1负载是构成该电晕放电处理装置的电路。

8.根据权利要求6所述的电晕放电处理装置，其特征在于，

所述控制装置检测所述蓄电器的蓄电量，其进行控制，以在检测出的所述蓄电量上升到上侧的第1电平的情况下闭合所述开关，在检测出的所述蓄电量下降到下侧的第2电平的情况下断开所述开关。

9.根据权利要求6～8中任一项所述的电晕放电处理装置，其特征在于，

所述控制装置具有检测所述蓄电器的异常的功能，其进行控制，以在没有检测到异常的情况下将所述切换开关的切换端子连接到第1输出侧端子，在检测到异常的情况下将所述切换端子连接到第2输出侧端子。

10.根据权利要求2～9中任一项所述的电晕放电处理装置，其特征在于，

所述蓄电器构成为能够装拆。

11.根据权利要求1所述的电晕放电处理装置，其特征在于，

具备负载，其消耗基于从所述AC/DC转换器输出的直流电流的电力。

12.根据权利要求11所述的电晕放电处理装置，其特征在于，

所述负载是电子电路。

13.根据权利要求11所述的电晕放电处理装置，其特征在于，

所述负载是电阻器或发光元件。

14.根据权利要求1所述的电晕放电处理装置，其特征在于，

具备介于所述轴和所述轴承之间的绝缘润滑脂或导电润滑脂。

15.根据权利要求1所述的电晕放电处理装置，其特征在于，

具备电荷除去器，其将在所述辊上产生的电荷释放到外部。