[发明专利]基于关注区域的缺陷检测

权利要求书

1.一种辅助半导体样品上的缺陷检测的计算机化系统，所述系统包括处理和存储器电路系统(PMC)，所述处理和存储器电路系统(PMC)被配置成：

获得提供所述半导体样品的管芯上的要检查的多个关注区域(CA)的信息的第一图；

创建包围所述多个CA的多个边界矩形(BR)；以及

将所述多个BR压缩为压缩矩形集合以满足预定义的检查容量，同时尝试最小化由所述压缩矩形集合包围的非CA区域，从而产生提供所述压缩矩形集合的信息的第二图，其中所述压缩包括：

构造包括底层和一个或多个上层的R树结构，所述底层包括表示所述多个BR的多个叶节点，所述一个或多个上层中的每一层包括一个或多个非叶节点，每个给定的非叶节点表示包围由所述给定非叶节点的一个或多个子节点表示的一个或多个矩形的压缩矩形；以及

基于所述预定义的检查容量从所述R树结构的所述叶节点和所述非叶节点中选择节点集合，所述节点集合表示所述压缩矩形集合；

其中，所述第二图可用于过滤指示所述管芯上的缺陷候选分布的缺陷图。

2.根据权利要求1所述的计算机化系统，其中所述第一图是基于所述管芯的设计数据导出的。

3.根据权利要求1所述的计算机化系统，其中所述PMC被配置成通过以下方式来创建所述多个BR：根据网格将所述第一图划分为多重网格单元，从而产生各自包含至少一个CA或其部分的多个网格单元，并且针对所述多个网格单元中的每个网格单元，近似包围所述网格单元中的所述至少一个CA或其部分的边界矩形(BR)，从而产生对应于所述多个网格单元的所述多个BR。

4.根据权利要求3所述的计算机化系统，其中所述PMC被配置成通过以下方式来构造所述R树结构：根据顺序将所述多个BR顺序地插入到所述底层中，并且基于每个非叶节点的子节点的数量来形成非叶节点的所述一个或多个上层，同时考虑到在构造时由各个非叶节点覆盖的所述非CA区域的最小扩大。

5.根据权利要求4所述的计算机化系统，其中所述顺序是通过将所述多重网格单元中的每个网格单元与唯一索引相关联，并且将所述多个网格单元中的网格单元的所述唯一索引分配给所述网格单元的所述BR来定义的，并且其中根据所述多个BR的所述唯一索引将所述多个BR插入到所述底层中。

6.根据权利要求5所述的计算机化系统，其中所述唯一索引是根据遍历所述多个网格单元的希尔伯特曲线导出的希尔伯特索引。

7.根据权利要求1所述的计算机化系统，其中所述PMC被配置成通过以下方式选择所述节点集合：选择所述R树的给定层，其中所述给定层的节点总数在所述检查容量内；将所述给定层的节点放入所述集合中；通过基于所述给定层的节点的纯度从所述给定层的节点中选择一个或多个节点来消耗剩余容量；并且使用所述集合中的所选节点中的每个所选节点的一个或多个子节点来替换所述集合中的所选节点中的每个所选节点，其中所述给定层的除所选节点之外的节点以及所选节点的子节点构成所述节点集合。

8.根据权利要求1所述的计算机化系统，其中所述PMC被配置成跨所述R树的多个层选择所述节点集合，以优化所选节点集合的总纯度。

9.根据权利要求8所述的计算机化系统，其中所述PMC被配置成通过以下方式选择所述节点集合：从上层开始，将所述上层的一个或多个节点放入优先级队列；将所述一个或多个节点中具有最低纯度的节点替换为所述节点的一个或多个子节点；以及重复所述替换直到所述优先级队列中的节点数量满足所述检查容量。

10.根据权利要求1所述的计算机化系统，其中所述R树结构是每个非叶节点具有至多两个子节点的平衡二叉树。