[发明专利]一种全自动硅片清洗机

说明书

本发明公开了一种全自动硅片清洗机，涉及硅片清洗技术领域。硅片清洗机包括清洗箱、水箱、连接管以及出水管，清洗箱的上端外表面开设有开口，且清洗箱的一侧外表面设置有水箱；本发明通过设置清洗机构，水箱中的清洗剂在水泵的作用下依次通过连接管、导流管进入连接筒的内部，并通过连接孔排出，对清洗棉进行冲击，使清洗棉保持湿润状态，提高清洗棉的清洗力度，并且清洗剂通过清洗棉的内部向外冲击，能够对清洗棉表面污染物进行一定程度的冲洗，降低污染物附着其表面的几率，同时，相较于直接利用清洗剂进行冲洗，不会在硅片表面形成冲洗痕迹，避免二次处理。

技术领域

本发明涉及硅片清洗技术领域，具体为一种全自动硅片清洗机。

背景技术

近年来，太阳能作为清洁环保能源，在诸多领域得到了广泛的应用。硅片是太阳能光伏产业中最为普遍的元件，其在生产流程中需要进行多道工序处理，从而保证硅片的光电转换效果。

在半导体器件的制造过程中，硅片表面的清洁非常重要，这是由于硅片表面的任何污染物都可能会对所制造的器件的品质造成不良的影响，因此在半导体器件制造过程中，通常会利用含有离子水的清洗剂对其进冲洗；

在现有技术中，通常将承载有硅片的承载篮挂在悬臂式清洗机上清洗，然而该种清洗机只能进行冲洗，会导致硅片表面留有清洗剂的痕迹，且该种清洗机在清洗过程中，通常是将整批硅片放在承载篮中同时进行冲洗，因此部分硅片表面较为顽固的污渍得不到充分的清理，降低了清洁效果。

发明内容

本发明的目的就在于为了解决现有清洗机只能进行冲洗，会导致硅片表面留有清洗剂流动的痕迹，且该种清洗机在清洗过程中，通常是将整批硅片放在承载篮中同时进行冲洗，因此到此部分硅片表面较为顽固的污渍得不到充分的清理，降低了清洁效果的问题，而提出一种全自动硅片清洗机。

本发明的目的可以通过以下技术方案实现：一种全自动硅片清洗机，包括清洗箱、水箱、连接管以及出水管，所述清洗箱的上端外表面开设有开口，且清洗箱的一侧外表面设置有水箱，所述水箱的上端外表面固定连接有连接管，且清洗箱的一侧外表面靠近底端的固定连通有出水管，所述水箱的内部设置有水泵，且连接管的一端贯穿至水箱的内部与水泵的输出端固定连通，另一端贯穿至水箱的内部，所述清洗箱的内部与连接管对应的位置设置有清洗机构；

所述清洗机构包括连接电机一、连接柱、连接筒以及导流管；所述清洗箱外表面远离连接管的一侧设置有电机一，且电机一的输出端贯穿至清洗箱的内部并固定连接有连接柱，所述电机一的输出端与清洗箱转动连接，且连接柱的一端与电机一的输出端固定连接，另一端固定连接有连接筒，所述连接筒外表面远离连接柱的一端固定连接有导流管，所述连接筒的外表面等距离设置有若干组固定组件；

所述固定组件包括固定板、槽孔、连接轴一、连接轴二、连接辊以及弧形板；所述固定板的一端与连接筒固定连接，且固定板呈U型，所述固定板内表面的两侧均开设有槽孔，且槽孔的内表面的两端分别等距离设置有若干组连接轴一与连接轴二，所述连接轴一与连接轴二一一对应，且连接轴一与连接轴二的一端与槽孔固定连接，另一端固定连接有连接辊，两组相对应的连接辊之间固定连接有两组弧形板，两组所述固定板之间固定连接有清洗棉，所述导流管的内表面与连接筒的内表面相通，且连接轴一的一端外表面开设有连接孔，所述连接孔的内表面与连接筒的内表面相通，所述清洗箱的内部设置有传送组件，且传送组件位于连接筒的侧下方的位置。

进一步的，所述清洗箱内表面与导流管对应的位置开设有通孔，所述导流管贯穿至通孔的内部并与其转动连接，所述连接管远离水箱的一端贯穿通孔并延伸至导流管的内部与其转动连接，且连接管与导流管之间设置有密封圈。

进一步的，所述连接柱一与导流管的外表面均开设有螺旋纹，且连接柱与导流管外表面均通过螺旋纹螺旋连接有推动板，所述推动板外表面远离连接筒的一侧均固定连接有固定筒，所述固定筒的内部活动连接有T型杆，且T型杆的一端与固定筒活动连接，另一端贯穿至固定筒的外部与清洗箱固定连接。