[发明专利]探针升降装置及探针台

说明书

本发明公开了一种探针升降装置及探针台。本发明的探针升降装置包括固定座、电机、第一偏心轮、第二偏心轮和调节座；电机设置于固定座上，电机包括电机轴；第一偏心轮套设于电机轴上，并能够与电机轴同步转动；第二偏心轮包括主体部和连接轴，主体部套设于第一偏心轮，第二偏心轮与第一偏心轮转动连接；调节座用于连接探针，并能够调节探针的位置，调节座与固定座沿设定方向滑动连接，连接轴与调节座转动连接，以使电机轴的转动能够带动调节座沿设定方向的移动。该探针升降装置通过第一偏心轮和第二偏心轮的配合，将电机轴的转动转换为调节座沿设定方向的移动，传动的误差较小，调节座的运动精度较高。

技术领域

本发明涉及测试技术领域，尤其涉及一种探针升降装置及探针台。

背景技术

LED探针台是通过探针与芯片接触，测试芯片的光电等各项参数，探针的精度与稳定性关系到LED探针台的测试精度和性能，所以探针组件是LED探针台的核心组件之一。

现有技术中，针对芯片固定的情况，通过上下移动探针来完成测试。具体的，通过电机带动丝杆转动，丝杆与探针座连接，通过丝杆的转动带动探针座沿竖直方向的移动。但是，若电机轴直接与丝杆连接，则电机需要占据较大的丝杆轴向的空间，若电机与丝杆并列设置，则需要通过同步轮和同步带进行连接，但同步带有一定弹性，高频运动时会产生滞后现象，探针运动高度会有一定误差，从而影响整体测试精度。

发明内容

本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本发明提出一种探针升降装置，传动的误差较小，调节座的运动精度较高。

本发明还提出一种具有上述探针升降装置的探针台。

根据本发明的第一方面实施例的探针升降装置，包括：

固定座；

电机，所述电机设置于所述固定座上，所述电机包括电机轴；

第一偏心轮，所述第一偏心轮套设于所述电机轴上，并能够与所述电机轴同步转动；

第二偏心轮，所述第二偏心轮包括主体部和连接轴，所述主体部套设于所述第一偏心轮，所述第二偏心轮与所述第一偏心轮转动连接；

调节座，所述调节座用于连接探针，并能够调节所述探针的位置，所述调节座与所述固定座沿设定方向滑动连接，所述连接轴与所述调节座转动连接，以使所述电机轴的转动能够带动所述调节座沿所述设定方向的移动。

根据本发明实施例的探针升降装置，至少具有如下有益效果：本申请的探针升降装置通过第一偏心轮和第二偏心轮的配合，将电机轴的转动转换为调节座沿设定方向的移动，电机轴通过刚性的第一偏心轮和第二偏心轮直接驱动调节座，调节座移动的行程由第一偏心轮的偏心距确定，当第一偏心轮不发生变化时，调节座沿设定方向上的终点位置是不变的，较为稳定，适合于大批量同规格的芯片检测。并且第一偏心轮和第二偏心轮在传动过程中的形变基本上可以忽略不计，传动的误差较小，调节座的运动精度较高。

根据本发明的一些实施例，所述第一偏心轮的轴线和所述电机轴的轴线的距离为第一偏心距，所述连接轴的轴线和所述主体部的轴线的距离为第二偏心距，所述主体部和所述第一偏心轮同轴设置，所述第二偏心距不小于所述第一偏心距。

根据本发明的一些实施例，所述第一偏心轮具有供所述电机轴穿过的第一通孔，所述第一偏心轮还具有沿轴向延伸的第一减弱槽和沿径向延伸的第二减弱槽，所述第一减弱槽沿径向与所述第一通孔连通，所述第一减弱槽沿轴向与所述第二减弱槽连通，所述第一减弱槽和所述第二减弱槽将所述第一偏心轮分割出第一锁紧部和第二锁紧部，所述第一锁紧部和所述第二锁紧部之间的间距能够调节，以使所述第一偏心轮固定连接于所述电机轴。