[发明专利]光离子发生器

说明书

本发明涉及一种使辐射除静电用电磁波的照射部简便地拆装从而容易更换照射部的光离子发生器，更详细地，本发明的光离子发生器的特征在于，包括：离子发生器单元，所述离子发生器单元加装有辐射除静电用电磁波的多个照射部；主体，所述主体配置成向所述离子发生器单元供应电源；以及电缆单元，所述电缆单元配置成连接所述离子发生器单元和所述主体；其中，所述照射部在所述离子发生器单元拆装。

技术领域

本发明涉及利用除静电用电磁波去除静电的光离子发生器，更详细地，涉及一种使辐射除静电用电磁波的照射部简便地拆装从而容易更换照射部的光离子发生器。

背景技术

随着电子设备和通信技术的发展，最近，半导体和LCD(Liquid Cristal Display，液晶显示装置)、OLED(Organic Light Emitting Diode，有机电致发光二极管)等显示装置的使用正在急剧增加。

在半导体和显示装置的制造工序中，晶片因静电而带电，因而会发生附着微细灰尘或元件损毁等问题，导致半导体和显示装置等的生产收率低下。

为了去除这种静电，一般在半导体和显示装置的制造工序中使用可去除晶片等的静电的除静电装置。

除静电装置大致分为电晕放电式装置和X射线辐射式装置，最近，主要使用X射线辐射式装置，即X射线照射式光离子发生器(Photo Ionizer)，X射线辐射式装置克服了电晕放电式装置具有的高电压放电导致的溅射现象、臭氧气体发生、离子平衡调整导致的不便等缺点。

X射线照射式离子发生器是通过生成并辐射X射线(X-ray)而使气体分子离子化，从而使除静电对象物体表面的静电中和的装置，主要以照射软X射线(Soft X-ray)的方式体现。这种光离子发生器不产生微细灰尘，也不需要使空气对流，因而更是倍受瞩目，已开发成多样的方式。

在专利文献1中公开了一种由产生高电压的多个电压发生组件和照射除静电用软X射线的多个X射线管模块结合于主体而构成的光离子发生器。

专利文献1公开的这种光离子发生器具有的优点是能够容易地拆装X射线管模块，可以充分确保延面距离，但问题在于，由于多个电压发生组件和多个X射线管模块结合于条型的主体，因而光离子发生器整体体积增大，难以配置于狭小场所或不易接近的场所，另外，为了使照射区域高密度重叠，体积进一步加大，在安装空间狭小的场所实际上难以使X射线管模块的照射区域高密度重叠。

而且，对于软性X射线管模块凸出到外部的离子发生器，需要容易更换X射线管。

(专利文献1)韩国授权专利第10-2138092号(2020.07.21.)。

发明内容

技术问题

本发明正是为了解决上述问题而发明的，目的是提供一种在能够不受如狭小空间或不易接近场所等的场所限制进行安装的同时能够使除静电用电磁波高密度重叠的光离子发生器。

另外，本发明目的是提供一种辐射除静电用电磁波的照射部能够从离子发生器单元简便地拆装的光离子发生器。

本发明的目的不限于以上提及的目的，未提及的其他目的是本发明技术领域的技术人员可以从以下记载明确理解的。

技术方案

为达成所述目的，本发明的光离子发生器的特征在于，包括：离子发生器单元，所述离子发生器单元加装有辐射除静电用电磁波的多个照射部；主体，所述主体配置成向所述离子发生器单元供应电源；以及电缆单元，所述电缆单元配置成连接所述离子发生器单元和所述主体；其中，所述照射部在所述离子发生器单元拆装。