[实用新型]上料组件和料盒输送装置

说明书

本公开提供的一种上料组件和料盒输送装置，涉及半导体技术领域。该上料组件包括支架、升降杆、夹紧件和第一感应器，夹紧件连接于升降杆；升降杆用于带动夹紧件朝靠近或远离支架的方向移动，支架和夹紧件之间形成用于容纳料盒的夹持空间；第一感应器用于检测料盒的盒盖是否开启。该上料组件能够检测料盒的盒盖是否开启，从而避免盒盖关闭状态下向料盒进料造成的进料堵塞问题，提升产品的生产质量和效率。

技术领域

本实用新型涉及半导体技术领域，具体而言，涉及一种上料组件和料盒输送装置。

背景技术

在半导体装置的制造工序过程中，尤其是基板作业过程中，需要使用上料装置进行料盒的装载运输，料盒在运输过程中，存在误将料盒侧边的盒盖合上的情况，若料盒在盒盖关闭的状态下运输，进料时会导致基板产品进料堵塞，进料堵塞还会引起产品变形，降低产品整体质量。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种上料组件和料盒输送装置，其能够检测料盒的进料状态，防止进料堵塞，提高料盒运输效率，提高基板产品质量。

本实用新型的实施例是这样实现的：

第一方面，本实用新型提供一种上料组件，包括：

支架；

升降杆；

夹紧件，所述夹紧件连接于所述升降杆；所述升降杆用于带动所述夹紧件朝靠近或远离所述支架的方向移动，所述支架和所述夹紧件之间形成用于容纳料盒的夹持空间；

第一感应器，所述第一感应器用于检测所述料盒的盒盖是否开启。

在可选的实施方式中，所述第一感应器设于所述升降杆上，所述料盒位于所述夹持空间的状态下，所述第一感应器的位置与所述料盒的侧边位置相对应，其中，所述料盒的侧边用于设置盒盖。

在可选的实施方式中，所述上料组件包括第二感应器，所述第二感应器设于所述支架，所述第二感应器用于检测所述料盒是否到达所述夹持空间。

在可选的实施方式中，所述支架包括第一端、第二端以及中部，所述中部连接于所述第一端和所述第二端；所述第二感应器设于所述中部。

在可选的实施方式中，所述第一端靠近所述升降杆设置，所述第二端远离所述升降杆设置，所述第二端位于所述料盒的进料侧，所述第二端设有导向部。

在可选的实施方式中，所述导向部呈圆弧设置。

在可选的实施方式中，所述上料组件还包括除静电结构，所述除静电结构设于所述夹紧件或所述升降杆上。

在可选的实施方式中，所述除静电结构包括离子发射器，所述离子发射器安装于所述夹紧件上。

在可选的实施方式中，所述夹紧件上设有发射孔，所述发射孔的位置与所述离子发射器对应设置。

第二方面，本实用新型提供一种料盒输送装置，包括如前述实施方式中任一项所述的上料组件。

本实用新型实施例的有益效果包括：

本实用新型实施例提供的上料组件，升降杆带动夹紧件移动，便于夹紧件和支架夹持料盒，提高料盒的运输效率。第一感应器的设置，能够检测料盒的盒盖是否开启，从而防止在料盒关闭的状态下进料，防止进料堵塞造成的基板产品变形等问题，提高料盒输送效率以及有利于提升产品生产质量。

本实用新型实施例提供的料盒输送装置，包括上述的上料组件，可以防止进料堵塞造成的基板产品变形等问题，提高料盒输送效率以及有利于提升产品生产质量。

附图说明