[实用新型]石墨热场加热器及石墨热场

说明书

本实用新型涉及石墨热场加热器及石墨热场，石墨热场加热器，包括圆筒状的石墨体，石墨体的周向设置有多个呈交错设置的开口槽，开口槽的槽底设置有弧形的弧槽，开口槽的两边分别设置有凹纹图案一，凹纹图案一包括多个“山”字状的第一凹纹、与第一凹纹呈间隔设置的“山”字状的第二凹纹，所述开口槽两边的凹纹图案一之间还设置有“彐”字状的第三凹纹，所述第一凹纹、第二凹纹和第三凹纹均设置在石墨体的内壁。所述石墨热场加热器在通电后发热效果好，发热量大，能够改善开口槽、弧槽等区域的发热量低的缺陷，使得热量更易向石墨体的内圈处集中，使得热场内的热量分布更均匀，从而提升石墨热场处单晶硅棒的拉制质量以及合格率。

技术领域

本实用新型涉及石墨热场加热器及石墨热场，属于石墨热场技术领域。

背景技术

石墨热场一般包括(石墨材料)压环、保温盖、上中下保温罩、石墨坩埚(三瓣埚)、坩埚托杆、坩埚托盘、电极、加热器、导流筒、石墨螺栓，且为了防止漏硅，炉底、金属电极、托杆、都设置了保护板、保护套。

单晶炉石墨热场简单的说就是用来拉单晶硅的整套石墨加热系统。常见的是18寸、22寸和24寸的石墨热场。

石墨热场用的加热器，通常是用整块石墨加工制成，其多为圆筒状结构，通过多个交错的分隔槽将石墨筒分隔成相互联接的多块石墨块(相当于等效电阻)，通过改变石墨块的数量使得石墨筒的电阻阻值可变，实现不同的发热量。例如，专利名称为“一种套筒式石墨加热器”(申请号：CN202010668575.6)。

上述加热器的缺点是，由于结构较为简单，在分隔槽附近会存在存在一些温度较低的区域，尤其是槽口、槽底、棱边等区域，这点从红外热成像图谱中会很明显的发现有一些暗色区域存在。

这些暗色区域的存在，使得加热器对石墨热场内的加热，可能导致热场中某一些区域不均匀，从而影响单晶硅棒的拉制质量以及合格率。

实用新型内容

本实用新型针对现有技术存在的不足，提供了石墨热场加热器及石墨热场，具体技术方案如下：

石墨热场加热器，包括圆筒状的石墨体，所述石墨体的周向设置有多个呈交错设置的开口槽，所述开口槽沿着石墨体的轴向设置，所述开口槽的槽底设置有弧形的弧槽，所述开口槽的两边分别设置有凹纹图案一，所述凹纹图案一在开口槽的两边按照轴对称分布，所述凹纹图案一包括多个“山”字状的第一凹纹、与第一凹纹呈间隔设置的“山”字状的第二凹纹，所述第一凹纹的指向与第二凹纹的指向相反；所述开口槽两边的凹纹图案一之间还设置有“彐”字状的第三凹纹，所述第三凹纹的指向与开口槽的轴向相同；所述第一凹纹、第二凹纹和第三凹纹均设置在石墨体的内壁。

作为上述技术方案的改进，所述凹纹图案一中的第一凹纹和第二凹纹均按照S形排列。

作为上述技术方案的改进，所述开口槽的两侧壁处均设置有多个Y形第四凹纹、与第四凹纹呈间隔设置的C形第五凹纹，所述第四凹纹的开口处和第五凹纹的开口处均指向石墨体的内圈。

作为上述技术方案的改进，所述石墨体的下端连接有两个横截面为L形的安装脚，两个安装脚以石墨体的轴线呈对称分布。

作为上述技术方案的改进，所述弧槽的内壁处设置有V形的第六凹纹，所述第六凹纹的开口处指向石墨体的内圈。

作为上述技术方案的改进，所述第一凹纹、第二凹纹、第三凹纹、第四凹纹、第五凹纹和第六凹纹的深度均为1～2mm。

石墨热场，具有所述石墨热场加热器。

本实用新型所述石墨热场加热器在通电后发热效果好，发热量大，能够改善开口槽、弧槽等区域的发热量低的缺陷，使得热量更易向石墨体的内圈处集中，使得热场内的热量分布更均匀，从而提升石墨热场处单晶硅棒的拉制质量以及合格率。

附图说明

图1为本实用新型所述石墨热场加热器的结构示意图；