[实用新型]芯片载台及样本分析仪

权利要求书

1.一种芯片载台，其特征在于，包括导热座；所述导热座的顶部设置有多条相互导通的真空槽；每条所述真空槽均与芯片上的密封胶条相对；每条所述真空槽的宽度均小于与其相对的密封胶条的宽度。

2.根据权利要求1所述的芯片载台，其特征在于，所述真空槽内设置有真空孔，通过真空孔提供真空槽所需的真空条件。

3.根据权利要求1所述的芯片载台，其特征在于，还包括上端盖和导热装置；所述导热装置设置在上端盖和导热座之间。

4.根据权利要求3所述的芯片载台，其特征在于，所述上端盖的底部设置有凹槽；所述凹槽通过设置在上端盖底部的下端盖密封；所述凹槽内设置有流道。

5.根据权利要求4所述的芯片载台，其特征在于，所述流道呈S型，S型的流道两端对应的下端盖处设置有液路管接头。

6.根据权利要求3所述的芯片载台，其特征在于，所述导热装置包括半导体制冷器；所述半导体制冷器与导热座、上端盖之间相互贴合；所述半导体制冷器与导热座、上端盖之间涂抹有导热硅脂。

7.根据权利要求3所述的芯片载台，其特征在于，还包括安装座和固定座；所述安装座包括前安装座和后安装座；所述前安装座和后安装座上均安装有固定座；所述上端盖的一端安装在前安装座上，另一端安装在后安装座上。

8.根据权利要求7所述的芯片载台，其特征在于，所述固定座上设置有贯穿固定座、安装座的通道；所述通道内安装有芯片检测用的液路通道；芯片放置在导热座后，液路通道与芯片流道导通。

9.根据权利要求7所述的芯片载台，其特征在于，所述固定座上设置有用于放置压缩弹簧的弹簧槽；所述固定座通过导向轴穿过弹簧槽内的压缩弹簧固定在安装座上。

10.一种样本分析仪，其特征在于，包括权利要求1-9任意一项所述的芯片载台。