[实用新型]一种磁控镀膜防静电击穿装置

说明书

本实用新型公开了一种磁控镀膜防静电击穿装置，用于磁控镀膜设备，所述磁控镀膜设备包括支撑架、安装在支撑架上的第一镀膜组件和第二镀膜组件，所述防静电击穿装置包括设置在所述第一镀膜组件和第二镀膜组件之间的至少一个防静电组件，所述防静电组件包括转动设置在所述支撑架上的支撑辊、卷绕在所述支撑辊的辊体上的第一导电带、卷绕在所述支撑辊的辊轴上的第二导电带，以及连接所述第一导电带与所述第二导电带的导线。本实用新型提供的磁控镀膜防静电击穿装置，可减少电荷在基膜上沉积，避免基膜被击穿，保证产品的质量。

技术领域

本实用新型涉及磁控溅射技术领域，特别涉及一种磁控镀膜防静电击穿装置。

背景技术

锂电电动汽车已成为未来汽车主流，但锂电池的安全性和能量密度饱受市场诟病，一直阻碍着电动汽车的发展。而新型复合铜箔，相较于传统铜箔，在安全和能量密度上的突破，给电动汽车的普及带来了新的曙光，各大厂商均纷纷投入其中。

目前复合铜箔采用主流的两步制造法，先用磁控打底，再用水镀增厚。因磁控主要起到打底层的效果，所以它的性能直接决定着整个产品的性能。

磁控的原理是氩气经过电离形成氩离子和电子，氩离子会在电场的作用下撞击靶材进行溅射，而电子一部分会继续撞击氩离子，另一部分则会与阳极中和，还有一部分会跑到基膜上。由于基膜导电性差，电荷就会在基膜累积，累积到一定的数量后会突然释放，击穿基膜而导致基膜穿孔。

传统避免此现象的主要方法是：

第一种是减小电源功率来减少电子累积，但会降低生产速率；第二种是使用陶瓷绝缘辊，成本又比较高。

实用新型内容

本实用新型目的是提供一种磁控镀膜防静电击穿装置，减少电荷累积，防止基膜被电荷击穿。

基于上述问题，本实用新型提供的技术方案是：

一种磁控镀膜防静电击穿装置，用于磁控镀膜设备，所述磁控镀膜设备包括支撑架、安装在支撑架上的第一镀膜组件和第二镀膜组件，

所述防静电击穿装置包括设置在所述第一镀膜组件和第二镀膜组件之间的至少一个防静电组件，所述防静电组件包括转动设置在所述支撑架上的支撑辊、卷绕在所述支撑辊的辊体上的第一导电带、卷绕在所述支撑辊的辊轴上的第二导电带，以及连接所述第一导电带与所述第二导电带的导线。

在其中的一些实施方式中，所述第一导电带、第二导电带为金属胶带。

在其中的一些实施方式中，所述金属胶带为铜膜胶带。

在其中的一些实施方式中，所述导线为金属丝。

在其中的一些实施方式中，所述金属丝为铜丝。

在其中的一些实施方式中，所述金属丝一端压接在所述第一导电带与所述辊体之间，所述金属丝另一端套设在所述第二导电带上。

与现有技术相比，本实用新型的优点是：

1、采用防静电组件在镀膜过程中提前释放电荷，减少电荷在基膜上的累积，防止基膜被电荷击穿，保证产品质量；

2、该防静电击穿装置结构简单，成本低，防静电效果显著。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型一种磁控镀膜防静电击穿装置实施例的结构示意图；

图2为本实用新型实施例中防静电组件的连接结构示意图；