[实用新型]一种探针台及其弹簧针架

说明书

本实用新型提供的探针台及其弹簧针架，涉及探针台领域。该探针台弹簧针架包括：针架基座，针架基座设有第一穿针孔和安装孔，安装孔用于与探针台固定；固定件，固定件与针架基座连接；连接件，连接件通过固定件与针架基座固定连接，连接件设有第二穿针孔，第二穿针孔与第一穿针孔相对，以使弹簧针从第二穿针孔插入第一穿针孔并容纳在第一穿针孔和第二穿针孔内，且所述第一穿针孔的中轴线和所述第二穿针孔的中轴线与所述探针台的夹角均小于90度。本实用新型提供的探针台及其弹簧针架的平均偏差小，可以保证测试条件的一致性，提高生产效率。

技术领域

本实用新型涉及探针台领域，具体而言，涉及一种探针台及其弹簧针架。

背景技术

在半导体芯片的研发及大规模生产过程中，均需要对芯片的各类性能进行测试，芯片测试座是测试装置中的关键部件。测试座的功能是将芯片定位夹持及线路板之间电子讯号及电流的传输，它的功能优劣直接影响芯片测试的可靠性和准确性。随着芯片的运行速度日益提高和电子产品尺寸的減少，对测试座性能的要求亦日益提高。一般说来，测试座的主要部件包括弹簧探针、探针架、其他电子连接件。现有针架单一靠压板压弹簧针很容易上下窜动，压大劲弹簧会变形伸缩失效。比如，公开号为CN102393478A的专利公开了一种芯片测试座，且针穴的内部有包括上动针、弹簧和下动针在内的弹簧探针，其采用的就是单一压板防止弹簧针窜动，此外，公开号为CN207358111U的专利公开一种阳极板浇铸探针架装置，也是采用对压板施加推力产生位移，带动探针。

实用新型内容

本实用新型的目的包括，例如，提供一种探针台及其弹簧针架，其可以保证测试条件的一致性，提高生产效率。

本实用新型的实施例可以这样实现：

第一方面，本实用新型实施例提供一种探针台弹簧针架，一种探针台弹簧针架，包括：

针架基座，所述针架基座设有第一穿针孔和安装孔，所述安装孔用于与探针台固定；

固定件，所述固定件与所述针架基座连接；

连接件，所述连接件通过所述固定件与所述针架基座固定连接，所述连接件设有第二穿针孔，所述第二穿针孔与所述第一穿针孔相对，以使弹簧针从所述第二穿针孔插入所述第一穿针孔并容纳在所述第一穿针孔和所述第二穿针孔内，且所述第一穿针孔的中轴线和所述第二穿针孔的中轴线与所述探针台的夹角均小于90度。

进一步地，在可选的实施例中，所述固定件与所述针架基座可活动地连接，以调节所述连接件与所述针架基座的连接位置，从而调节所述第二穿针孔与所述第一穿针孔的相对位置。

进一步地，在可选的实施例中，所述第一穿针孔的孔径大于所述弹簧针的尺寸。

进一步地，在可选的实施例中，所述第一穿针孔在所述针架基座的相对两个侧面分别形成第一针口和第二针口，所述第一针口和所述第二针口，所述第一针口和所述第二针口错位布置。

进一步地，在可选的实施例中，所述连接件包括依次设置的固定部、连接部以及穿针部，所述固定部与所述固定件连接，所述穿针部设有所述第二穿针孔，所述连接部与所述固定部成夹角设置，所述连接部与所述第二穿针孔成夹角。

进一步地，在可选的实施例中，所述固定部和所述连接部成块状结构或片状结构，所述穿针部成柱状结构或条状结构，且所述第二穿针孔沿所述柱状结构或所述条状结构的长度方向延伸。

进一步地，在可选的实施例中，所述固定件为固定螺丝，所述固定部设有供所述固定螺丝穿过的通孔，所述针架基座设有与所述固定螺丝螺纹配合的螺纹孔。

进一步地，在可选的实施例中，所述固定件、所述连接件、所述第一穿针孔的数量为对应的两组。

进一步地，在可选的实施例中，所述针架基座的侧边设有两个安装面，且两个安装面分别用于安装所述固定件。