[实用新型]异质结电池非晶硅薄膜的镀膜载板

说明书

本实用新型涉及一种异质结电池非晶硅薄膜的镀膜载板，属于电池生产技术领域。包括承载层、加热层和放片层，承载层、加热层和放片层从下至上依次连接，所述加热层上开设有加热丝放置槽，加热丝放置槽中安装有加热丝，加热丝两端分别连接直流电源的正极接线端和负极接线端，放片层上均匀开设有若干个用于放置制绒后硅片的硅片放置槽。通过设置从下至上依次连接的承载层、加热层和放片层，并在加热层上开设的加热丝放置槽中安装加热丝，提供了一种异质结电池非晶硅薄膜沉积的自热式载板，该载板具有加热功能使载板在生产过程中能够保持所需要的温度，不但不影响生产节奏，节省硅烷和氢气等气体，还会提高异质结电池的生产良率和效率。

技术领域

本实用新型涉及电池生产技术领域，尤其涉及一种异质结电池非晶硅薄膜的镀膜载板。

背景技术

异质结电池具有转换效率高、开路电压高、温度系数低、低温工艺制备及抗衰减等优势在行业内备受关注。该电池主要有以下优点：工艺步骤少、制作温度低；无光致衰减(LID)、无电致衰减(PID)效应；高效率和低温度系数、双面发电、高发电量。此外，异质结电池在保证效率转换的同时，可以将硅片的厚度降低至100um，减少了硅材料的用量，降低了生产成本。CVD沉积非晶硅薄膜是异质结电池的核心工序。本征非晶硅层主要是钝化晶体硅表面缺陷，减少表面缺陷态，从而降低载流子复合；掺杂非晶硅层主要是与晶硅形成PIN结和场效应钝化层。

沉积非晶硅薄膜过程中，载板作为辅助，起到托起基片运行的作用。CVD沉积薄膜对于载板的温度要求极其高，如果载板的温度过低，制备出CVD后的多为暗片、黑边等PL不良；制备出的少子寿命也不符合要求，严重影响异质结电池生产的效率和良率。在常规的非晶硅沉积的载板中，一般没有加热功能。在生产前，需要将载板进行一定时间的热处理才能够正常使用；在生产中，因为腔体报警、设备维修、停机等异常时，载板温度恢复至常温，一般需要镀板30min左右将载板的温度提高以恢复正常生产，这种情况不仅严重影响了生产的节奏，在渡板过程中还消耗大量的硅烷、氢气等气体，还会影响异质结电池的效率和良率。

因此，提供一种能够不影响生产节奏、提高量产的生产良率和效率的非晶硅镀膜载板，是本领域技术人员亟需解决的难题。

实用新型内容

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种异质结电池非晶硅薄膜的镀膜载板。本实用新型的技术方案如下：

一种异质结电池非晶硅薄膜的镀膜载板，其包括承载层、加热层和放片层，承载层、加热层和放片层从下至上依次连接，所述加热层上开设有加热丝放置槽，加热丝放置槽中安装有加热丝，加热丝两端分别连接直流电源的正极接线端和负极接线端，放片层上均匀开设有若干个用于放置制绒后硅片的硅片放置槽。

可选地，所述加热丝的截面形状为矩形或者圆形，其边长或者直径不低于3mm；加热丝放置槽的截面形状为矩形或半圆形，尺寸比加热丝的截面尺寸大1-2mm。

可选地，所述硅片放置槽的边长比硅片的边长宽1-3mm。

可选地，所述放片层的材质为碳纤维、石墨、玻璃或金属。

可选地，所述加热层的材质为铁或镍。

可选地，所述承载层的材质为碳纤维、石墨、玻璃或金属。

上述所有可选地技术方案均可任意组合，本实用新型不对一一组合后的结构进行详细说明。

借由上述方案，本实用新型的有益效果如下：

通过设置从下至上依次连接的承载层、加热层和放片层，并在加热层上开设的加热丝放置槽中安装加热丝，提供了一种异质结电池非晶硅薄膜沉积的自热式载板，该载板具有加热功能使载板在生产过程中能够保持所需要的温度，不但不影响生产节奏，节省硅烷和氢气等气体，还会提高异质结电池的生产良率和效率。