[实用新型]一种晶圆支架

权利要求书

1.一种晶圆支架，其特征在于，包括：

至少两层平台；

支撑结构，所述支撑结构包括一体式连接的安装部和支撑部，所述安装部嵌入所述平台中将所述支撑结构安装于所述平台上，所述支撑部的上表面高于所述平台的上表面用于支撑晶圆。

2.如权利要求1所述的晶圆支架，其特征在于，所述安装部为圆柱结构，所述支撑部为半球体结构，所述安装部的底面和所述支撑部的底面相连。

3.如权利要求2所述的晶圆支架，其特征在于，所述安装部和所述支撑部相连的面与所述平台的上表面共面。

4.如权利要求2所述的晶圆支架，其特征在于，所述支撑部的直径为6毫米至10毫米。

5.如权利要求2所述的晶圆支架，其特征在于，所述安装部的直径与所述支撑部的直径相同。

6.如权利要求1所述的晶圆支架，其特征在于，所述支撑结构的材料包括阳极氧化铝。

7.如权利要求1所述的晶圆支架，其特征在于，所述平台的厚度为2毫米至5毫米。

8.如权利要求1所述的晶圆支架，其特征在于，所述安装部的高度为所述平台的厚度的40％至60％。

9.如权利要求1所述的晶圆支架，其特征在于，所述安装部的高度为1毫米至3毫米。

10.如权利要求1所述的晶圆支架，其特征在于，所述平台的材料包括铝。