[实用新型]一种基于多波长成像的硅晶圆无损双面检测设备

权利要求书

1.一种基于多波长成像的硅晶圆无损双面检测设备，其特征在于：包括暗室，所述暗室的两侧内壁上固定有四个相同的魔术手，每个魔术手夹持有LED环形光源，四个LED环形光源的中间位置设置检测平台，其中两个LED环形光源左右对称设置在检测平台的上方、其余两个LED环形光源左右对称设置在检测平台的下方，检测平台中间用于放置待检测硅晶圆；

所述待检测硅晶圆的正上方设置光学凸透镜，所述凸透镜的正上方设置两个光电探测器，在所述暗室的正上方内壁上固定一个电动滑台，所述电动滑台和两个光电探测器固定连接，可带动两光电探测器移动。

2.根据权利要求1所述的硅晶圆无损双面检测设备，其特征在于：所述检测平台中间设置有通孔，且在通孔周边开设有环形凹槽。

3.根据权利要求1所述的硅晶圆无损双面检测设备，其特征在于：位于检测平台上方的两个LED环形光源为波长530nm的绿光光源或者波长365nm的紫外光光源；位于检测平台下方的两个LED环形光源为波长1064nm的红外光光源。

4.根据权利要求1所述的硅晶圆无损双面检测设备，其特征在于：所述两个光电探测器分别为用于检测波长1064nm的红外光的第一光电探测器，以及用于检测波长530nm的绿光或者波长365nm的紫外光的第二光电探测器。

5.根据权利要求1所述的硅晶圆无损双面检测设备，其特征在于：所述电动滑台为十字型电动滑台。