[实用新型]一种水洗槽清洗装置

说明书

本实用新型涉及半导体电镀设备技术领域，尤其涉及一种水洗槽清洗装置。该水洗槽清洗装置可以用于清洗电镀设备中的产品和夹具。水洗槽清洗装置主要包括喷管组件和竹节嘴组件。其中，喷管组件的底部连通驱动装置，驱动装置被配置为将液体驱动至喷管组件内。竹节嘴组件的一端与喷管组件连通，竹节嘴组件的另一端弯曲后置于夹具上方，喷管组件内的液体能够经竹节嘴组件喷淋至夹具上。该水洗槽清洗装置结构简单，通过竹节嘴组件和喷管组件的设置，能够实现对夹具和产品的清洗，且竹节嘴组件的设置能够减少对夹具喷淋清洗过程中液体的飞溅，避免工艺槽体内的药液交叉污染，提升产品的良率和水洗槽清洗装置的稳定性。

技术领域

本实用新型涉及半导体电镀设备技术领域，尤其涉及一种水洗槽清洗装置。

背景技术

通常半导体电镀设备中包括多个工艺槽体，且多个工艺槽体内设置有运输带，运输带贯通于多个工艺槽体；运输带上设置有用于夹持待电镀工艺产品的夹具。在正常电镀工艺时，夹具连通产品在运输带的驱动下会依次浸泡在不同工艺槽体内的电解液中。

为了提高产品电镀的品质质量，在每一道工艺槽体的后工艺段需要设置水洗槽清洗装置，对经过上一道工艺后的产品和夹具进行清洗，以清洁夹具和产品上的残留的药液。现有技术中的一部分水洗槽清洗装置无法对夹具进行清洗，这样使得夹具上残留的药液会污染下一道工艺槽体内的药液，影响产品电镀的良率；另一部分水洗槽清洗装置虽然可以对夹具进行清洗，但是在清洗的过程中会造成液体飞溅，容易导致液体飞溅至其他工艺槽体内，导致工艺槽体内的药液交叉污染。

因此，亟需设计一种水洗槽清洗装置，来解决以上技术问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提出一种水洗槽清洗装置，能够对夹具进行清洗，且在清洗夹具时不会造成液体飞溅，该水洗槽清洗装置的稳定性高，能够提升产品的良率。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

本实用新型提供一种水洗槽清洗装置，包括：

喷管组件，所述喷管组件的底部连通驱动装置，所述驱动装置被配置为将液体驱动至所述喷管组件内；

竹节嘴组件，所述竹节嘴组件的一端与所述喷管组件连通，所述竹节嘴组件的另一端弯曲后置于夹具上方，所述喷管组件内的液体能够经所述竹节嘴组件喷淋至所述夹具上。

作为一种水洗槽清洗装置的可选技术方案，所述竹节嘴组件的外壁上凸设有多个凸起，且多个所述凸起等间隔设置。

作为一种水洗槽清洗装置的可选技术方案，所述凸起呈半球状。

作为一种水洗槽清洗装置的可选技术方案，所述竹节嘴组件靠近所述夹具的一端呈喇叭状。

作为一种水洗槽清洗装置的可选技术方案，所述水洗槽清洗装置包括连接件，所述竹节嘴组件的一端设置在所述连接件上，并与所述连接件连通，所述连接件套设在所述喷管组件上。

作为一种水洗槽清洗装置的可选技术方案，所述连接件内壁设置有内螺纹，所述喷管组件的端部设置有与所述内螺纹相适配的外螺纹，所述连接件与所述喷管组件螺纹连接。

作为一种水洗槽清洗装置的可选技术方案，所述喷管组件上开设有多个第一喷孔，相邻两个所述第一喷孔间距第一预设距离。

作为一种水洗槽清洗装置的可选技术方案，所述喷管组件上开设有多个第二喷孔，相邻两个所述第二喷孔间距第二预设距离；所述第一预设距离大于所述第二预设距离，所述第二喷孔设置在所述第一喷孔的上方。

作为一种水洗槽清洗装置的可选技术方案，所述竹节嘴组件为柔性硅胶件。

作为一种水洗槽清洗装置的可选技术方案，所述喷管组件为硬质塑料件。

本实用新型的有益效果至少包括：