[实用新型]一种用于等离子清洗机的真空腔结构

说明书

本实用新型提供一种用于等离子清洗机的真空腔结构，涉及真空腔结构技术领域，包括可视窗压盖、第一真空腔端盖、真空腔主体和第二真空腔端盖，所述真空腔主体的表面开设有管道接口，所述第一真空腔端盖与第二真空腔端盖分别安装与真空腔主体的两端，所述第一真空腔端盖与第二真空腔端盖之间固装有螺钉固定杆，所述第一真空腔端盖的外侧安装有铰链，所述铰链的外侧安装有密封门。本实用新型，通过设置该玻璃窗，工作人员可以在清洗过程中，通过密封门上的玻璃窗，观察清洗时的辉光状态和基片状态，以便工作人员判断清洗状态，且整个真空腔的结构更加简单，易于加工，同时拆装方便，能够达到较好的使用效果。

技术领域

本实用新型涉及真空腔结构技术领域，尤其涉及一种用于等离子清洗机的真空腔结构。

背景技术

在芯片焊接前，往往需要使用等离子清洗机对基板进行清洗，但现有的等离子清洗设备的真空腔体在使用过程中，有着拆卸和安装不便、加工麻烦、结构复杂等问题，且在清过程不便于工作人员观察辉光状态和基片状态，不便于工作人员判断清洗状态，难以达到较好的使用效果。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种用于等离子清洗机的真空腔结构。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：一种用于等离子清洗机的真空腔结构，包括可视窗压盖、第一真空腔端盖、真空腔主体和第二真空腔端盖，所述真空腔主体的表面开设有管道接口，所述第一真空腔端盖与第二真空腔端盖分别安装与真空腔主体的两端，所述第一真空腔端盖与第二真空腔端盖之间固装有螺钉固定杆，所述第一真空腔端盖的外侧安装有铰链，所述铰链的外侧安装有密封门，所述第一真空腔端盖的表面开设有通孔，所述密封门的表面开设有观察口，所述观察口内部套设有玻璃窗，所述可视窗压盖安装于密封门的表面位于玻璃窗的外侧，所述第二真空腔端盖的表面开设有连通孔，所述连通孔的内部套设有绝缘板，所述绝缘板的内部套设有导电接头。

为了使真空腔主体与第一真空腔端盖和第二真空腔端盖之间密封，本实用新型的改进有，所述真空腔主体的两端均套设有真空腔密封圈。

为了使观察口与玻璃窗之间密封，本实用新型的改进有，所述观察口与玻璃窗之间套设有第一密封圈。

为了使密封门与第一真空腔端盖之间密封，本实用新型的改进有，所述密封门的表面位于第一真空腔端盖的一侧安装有第五密封圈。

为了使绝缘板与第二真空腔端盖之间密封，本实用新型的改进有，所述绝缘板的表面套设有第四密封圈。

为了使导电接头与绝缘板之间密封，本实用新型的改进有，所述导电接头的表面分别套设有第二密封圈和第三密封圈。

与现有技术相比，本实用新型的优点和积极效果在于：

本实用新型中，通过设置该玻璃窗，工作人员可以在清洗过程中，通过密封门上的玻璃窗，观察清洗时的辉光状态和基片状态，以便工作人员判断清洗状态，且整个真空腔的结构更加简单，易于加工，同时拆装方便，能够达到较好的使用效果。

附图说明

图1为本实用新型提出一种用于等离子清洗机的真空腔结构的整体结构示意图；

图2为本实用新型提出一种用于等离子清洗机的真空腔结构的真空腔主体的结构示意图；

图3为本实用新型提出一种用于等离子清洗机的真空腔结构的第二真空腔端盖的结构示意图；

图4为本实用新型提出一种用于等离子清洗机的真空腔结构的后视的结构示意图。

图例说明：