[实用新型]一种带有防护结构的真空镀膜机

说明书

本实用新型涉及真空镀膜机技术领域，提出了一种带有防护结构的真空镀膜机，包括箱体、电箱，所述电箱远离箱体的一侧固定连接有固定框，所述固定框的一侧设置有固定机构。通过固定机构中设置插柱卡在橡胶筒内可有效降低现有技术结构运转对插柱的影响，起到对网罩防护的作用，同时残留的震动通过插柱传递给缓震弹簧进行消弱消除，能更加有效的解决现有技术中用于安装网罩的固定框因第一电机、第二电机和风机运转产生的震动而松动的问题；通过固定机构中结构的相互配合，通过拉动与松开拉块的方式，便可起到快速且简单的安装网罩，不需要其他工具的协助即可快速进行安装与拆卸网罩，有效增强了安装的工作效率同时节省了人力的支出。

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜机技术领域，具体的，涉及一种带有防护结构的真空镀膜机。

背景技术

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，需要镀膜的被称为基片，镀的材料被称为靶材。基片与靶材同在真空腔中，蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来。并且沉降在基片表面，通过成膜过程(散点－岛状结构-迷走结构-层状生长)形成薄膜。对于溅射类镀膜，可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材，并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来，并且最终沉积在基片表面，经历成膜过程，最终形成薄膜，真空镀膜机给所需的产品进行镀膜的过程中，会有部分的镀膜药材吸附到腔体内部的周围，为了保持真空腔体洁净，常用的技术手段是在腔体的内部周围加装防护挡板。

中国专利公开了一种防护性能好的真空镀膜机，公开号为CN 214032682 U，其所要解决的是现有技术中市场上常见的真空镀膜机普遍存在防护性能较差的现象，导致镀膜机内部易混入其他气体，严重影响镀膜的质量，该申请很好的解决了这个问题，但是通过螺纹孔固定住安装板来防止安装板因第一电机、第二电机和风机运转产生的震动而松动，这种方式会使整体震动，缓震效果不好，且安装与拆卸需要借助其他工具，不够便捷耗时耗力，需要在此基础上进行改进。

因此需要一种带有防护结构的真空镀膜机。

实用新型内容

本实用新型提出一种带有防护结构的真空镀膜机，解决了相关技术中通过螺纹孔固定住安装板来防止安装板因第一电机、第二电机和风机运转产生的震动而松动，这种方式会使整体震动，缓震效果不好的问题。

本实用新型的技术方案如下：一种带有防护结构的真空镀膜机，包括箱体、电箱，所述电箱远离箱体的一侧固定连接有固定框，所述固定框的一侧设置有固定机构，所述固定机构包括橡胶筒，所述电箱的内壁开设有柱形槽，所述柱形槽的内壁滑动连接有限位板，所述限位板一侧的表面固定连接有缓震弹簧，所述缓震弹簧的一端与柱形槽内壁的一侧固定连接，所述限位板的内壁固定连接有插柱，所述插柱的一端贯穿柱形槽的内壁且延伸至电箱的外部，所述插柱的表面固定连接有拉块，所述固定框的一侧开设有卡槽，所述插柱的另一端贯穿柱形槽的内壁且延伸至橡胶筒的内部。

优选的，所述固定框的内壁固定连接有网罩，所述固定框的表面固定连接有辅助安装块，通过设置网罩可以防止灰尘落入电箱内现象的发生，同时在网罩外部固定框的表面设置辅助安装块起到便于工作人员安装与拆卸网罩的作用。

优选的，所述橡胶筒的直径小于卡槽的直径，且橡胶筒的表面与卡槽的内壁固定连接，起到与插柱进行匹配卡接固定的作用。

优选的，所述插柱的直径小于橡胶筒的直径，且橡胶筒的内壁与插柱的表面紧贴，由于橡胶具有很强的弹性和良好的绝缘性、缓震、可塑性、隔水隔气、抗拉和耐磨等特点，在卡槽的内壁设置橡胶筒，使橡胶筒与插柱进行卡接后摩擦力更强，同时起到缓震的作用。

优选的，所述限位板的直径小于柱形槽的直径，且限位板的表面与柱形槽的内壁接触，起到对插柱进行限位的作用，同时起到挤压缓震弹簧的作用。

优选的，所述箱体的底部固定连接有底板，所述底板的顶部固定连接有控制台，起到控制电源的作用。

优选的，所述底板的底部固定连接有支撑腿，起到支撑整体装置重量的作用。