[实用新型]一种电子枪灯丝压块螺丝防护机构有效
申请号: | 202223121748.6 | 申请日: | 2022-11-24 |
公开(公告)号: | CN218769401U | 公开(公告)日: | 2023-03-28 |
发明(设计)人: | 张韬;袁莹;孙岩;李秉昆 | 申请(专利权)人: | 吉林市汇恒电子科技有限公司 |
主分类号: | H01J37/317 | 分类号: | H01J37/317;H01J37/063;H01J37/065 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 132299 吉林省吉林市永吉县经济开发区重*** | 国省代码: | 吉林;22 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 电子枪 灯丝 螺丝 防护 机构 | ||
本实用新型涉及螺丝防护技术领域,且公开了一种电子枪灯丝压块螺丝防护机构,包括电子枪设备,电子枪设备的上方设置有灯丝,所述灯丝的底端与压块固定连接,压块的左右两侧均固定连接有连接座,连接座的顶部中心位置开设有螺纹孔,连接座顶部的螺纹孔内部螺纹连接有螺丝,螺丝的外壁面自上而下开设有等距圆周排列的限位槽,螺丝的输出端固定连接有防护罩,防护罩的内部壁面自上而下固定连接有等距圆周排列的凸块。本实用新型中,螺丝锈化严重,无法产生连接的作用,压块松动,压块就会带动灯丝掉落,灯丝温度过高一旦掉落到使用者身上会使使用着受伤,螺丝的外壁面涂覆有防腐漆,防腐漆防止螺丝腐蚀,保护螺丝不被腐蚀的效果。
技术领域
本实用新型涉及螺丝防护技术领域,尤其涉及一种电子枪灯丝压块螺丝防护机构。
背景技术
半导体制造设备离子注入机AppliedMaterialPI9500在进行离子注入时,需要PFS(等离子洪流系统)来中和硅片表面的多余离子,这套系统使用电子枪轰击气体产生等离体, 其电子枪发射片为有感灯丝, 即将钨丝绕成盘状, 接通电源后钨丝达到一定温度后逸出电子,电子枪灯丝固定在压块上,压块通过螺丝固定在设备上,一旦螺丝发生腐蚀,螺丝锈化严重,无法产生连接的作用,压块通过螺丝固定在设备上,压块松动,压块就会带动灯丝掉落,灯丝温度过高一旦掉落到使用者身上会使使用着受伤。
为此,我们提出一种电子枪灯丝压块螺丝防护机构。
实用新型内容
本实用新型主要是解决上述现有技术所存在的技术问题,提供一种电子枪灯丝压块螺丝防护机构。
为了实现上述目的,本实用新型采用了如下技术方案,一种电子枪灯丝压块螺丝防护机构,包括电子枪设备,电子枪设备的上方设置有灯丝,所述灯丝的底端与压块固定连接,压块的左右两侧均固定连接有连接座,连接座的顶部中心位置开设有螺纹孔,连接座顶部的螺纹孔内部螺纹连接有螺丝,螺丝的外壁面自上而下开设有等距圆周排列的限位槽,螺丝的输出端固定连接有防护罩,防护罩的内部壁面自上而下固定连接有等距圆周排列的凸块,凸块为倾斜向下设置,凸块远离防护罩的一端延伸至限位槽的内部。
作为优选,所述电子枪设备顶部的左右两侧靠近中心的位置均开设有螺纹孔。
作为优选,所述螺丝的外壁面涂覆有防腐漆。
作为优选,所述防护罩的底端开设有通槽,通槽的直径与螺丝的直径相同。
作为优选,所述通槽的内部壁面固定连接有有等距圆周排列的弹簧,弹簧远离通槽的一端固定连接有夹块,夹块为弧形。
有益效果
本实用新型提供了一种电子枪灯丝压块螺丝防护机构。具备以下有益效果:
(1)、该一种电子枪灯丝压块螺丝防护机构,工作时,灯丝通过压块固定在电子枪设备上,螺丝长时间使用,螺丝一旦发生腐蚀,螺丝锈化严重,无法产生连接的作用,压块松动,压块就会带动灯丝掉落,灯丝温度过高一旦掉落到使用者身上会使使用着受伤,螺丝的外壁面涂覆有防腐漆,防腐漆防止螺丝腐蚀,保护螺丝不被腐蚀的效果。
(2)、该一种电子枪灯丝压块螺丝防护机构,进一步的,螺丝的输出端延伸至防护罩的内部,螺丝向下延伸时,防护罩内部的凸块延伸至螺丝外壁面上的限位槽内部,由于凸块为倾斜向下设置,凸块抵住螺丝的壁面,螺丝不会轻易脱离防护罩的内部,螺丝的底端位于防护罩内部的通槽内部,通槽内部的夹块通过弹簧的张力对螺丝的底端进行加固稳定,防止螺丝脱离防护罩的内部,也防止了螺丝被外界腐蚀的效果。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型的实施方式或现有技术中的技术方案,下面将对实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单的介绍。显而易见的,下面描述中的附图仅仅是示例性的,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据提供的附图引伸获得其他的实施附图。
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