[实用新型]一种显影液的喷洒设备

说明书

本实用新型涉及显影液喷洒技术领域，且公开了一种显影液的喷洒设备，包括主体机构、转动机构和喷洒机构，所述转动机构位于主体机构的上端，所述喷洒机构位于转动机构的上端，所述主体机构包括主体滚轮、调平支架、主体支腿、主体横梁三和主体横梁四，所述调平支架的下端固定连接在主体滚轮的上端，所述主体支腿的下端中部固定连接在调平支架的上端，所述主体横梁一的左右两端固定连接在主体支腿的中部，所述主体横梁二的前后两端固定连接在主体支腿的中部，所述主体横梁三的左右两端固定连接在主体支腿的中部，所述主体横梁四的前后两端固定连接在主体支腿的中部。该显影液的喷洒设备，通过转动机构的结构，大大的提高了该设备的使用便捷性。

技术领域

本实用新型涉及显影液喷洒技术领域，具体为一种显影液的喷洒设备。

背景技术

光刻胶显影过程作为光刻技术中的一环，其主要目的是把掩模板图形准确复制到光刻胶中，如果不能正确地控制显影工艺，光刻胶图形就会出现问题，这些光刻胶问题对产品成品率会产生消极影响，在随后的刻蚀工艺中产生缺陷。

在半导体制造工艺中，对于光刻工艺中的显影技术，需要利用显影喷嘴装置向晶圆上的光致抗蚀剂表面喷洒显影液，由此可通过喷洒的显影液在晶圆上的光致抗蚀剂上形成三维图形。

目前，在对玻璃基板的表面进行显影液喷洒时多使用单个喷头进行喷洒，由于喷头的在喷洒时存在喷洒不均的现象，喷洒头不便于调节，导致显影液在玻璃基板表面的分布不均匀，对光刻生产造成影响。

实用新型内容

(一)解决的技术问题

本实用新型的目的在于提供一种显影液的喷洒设备，以解决上述背景技术中提出喷洒不均匀，喷洒头不便于调节的问题。

(二)技术方案

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种显影液的喷洒设备，包括主体机构、转动机构和喷洒机构，所述转动机构位于主体机构的上端，所述喷洒机构位于转动机构的上端，所述主体机构包括主体滚轮、调平支架、主体支腿、主体横梁一、主体横梁二、主体横梁三和主体横梁四，所述调平支架的下端固定连接在主体滚轮的上端中部，所述主体支腿的下端中部固定连接在调平支架的上端，所述主体横梁一的左右两端固定连接在主体支腿的中部，所述主体横梁二的前后两端固定连接在主体支腿的中部，所述主体横梁三的左右两端固定连接在主体支腿的中部，所述主体横梁四的前后两端固定连接在主体支腿的中部。该显影液的喷洒设备，通过转动机构的结构，大大的提高了该设备的使用便捷性。

优选的，所述转动机构包括转动横梁一、转动横梁二、转动滚轮、滚轮连接杆、齿轮、传输带、转动变速箱和转动电机，所述转动横梁一的下端固定连接在主体支腿的上端中部，所述转动横梁二的下端固定连接在主体支腿的上端中部，所述转动滚轮的左端转动连接在转动横梁一的前端中部，通过转动机构的结构，大大的提高了喷洒效率。

优选的，所述转动滚轮的右端固定连接在滚轮连接干的左端中部，所述滚轮连接杆的右端固定连接在齿轮的左端，所述齿轮的右端转动连接在转动变速箱的右端，所述传输带的前后两端转动连接在转动滚轮的外圈，所述转动变速箱的后端固定连接在转动横梁二的前端，所述转动电机的上端固定连接在转动变速箱的下端中部，通过转动变速箱的结构，方便了传输带的转动速度的调节。

优选的，所述喷洒机构包括喷洒固定块、供液管、移动横梁、移动块、喷洒管、喷洒头、上转动块、转动轴、下转动块、固定孔和固定螺母，所述喷洒固定块的左端固定连接在转动横梁一的上端中部，通过喷洒头可调节结构，大大的提高了显影液的喷洒均匀性。

优选的，所述喷洒固定块的右端固定连接在转动横梁二的上端中部，所述供液管的左端固定连接在喷洒固定块的上端中部，所述供液管的右端固定连接在供液泵的前端中部，所述移动横梁的左右两端固定连接在喷洒固定块的前端中部，所述移动块的中部套接在移动横梁的外圈，所述喷洒管的右端固定连接在供液管左端，通过移动块的结构，方便了喷洒头的调节，提高了该喷洒设备的喷洒均匀性。