[实用新型]一种单晶炉用密封炉盖

说明书

本实用新型公开了一种单晶炉用密封炉盖，包括炉盖，所述炉盖的盖体外侧设有炉盖下法兰，沿着所述炉盖的盖体内设有一圈L型内壁，所述炉盖底部的延伸段上设有可拆卸的第一L型密封圈，所述L型内壁底部的延伸段上设有可拆卸的第二L型密封圈，所述第一L型密封圈和第一L型密封圈相对应设置，通过一组相对设置的第一L型密封圈和第一L型密封圈，能够将炉体壁的内外两侧同时进行密封，大大提高了密封性能，而且第一L型密封圈和第一L型密封与炉盖之间为可拆卸设计，维修替换起来也非常的方便。

技术领域

本实用新型涉及单晶炉技术领域，具体为一种单晶炉用密封炉盖。

背景技术

单晶炉是单晶硅生产过程中必不可少的装置，现有的炉盖通常都是在盖体内黏贴固定一层密封圈来与炉体进行密封，由于炉盖与炉体之间经常需要打开过闭合，再使用一定时长后，密封圈容易老化，导致密封效果下降，另外，更换密封圈也比较麻烦。

实用新型

本实用新型的目的在于提供一种单晶炉用密封炉盖，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种单晶炉用密封炉盖，包括炉盖，所述炉盖的盖体外侧设有炉盖下法兰，沿着所述炉盖的盖体内设有一圈L型内壁，所述炉盖底部的延伸段上设有可拆卸的第一L型密封圈，所述L型内壁底部的延伸段上设有可拆卸的第二L型密封圈，所述第一L型密封圈和第二L型密封圈相对应设置。

优选的，所述炉盖底部的延伸段上设有多个第一定位孔，所述炉盖的盖壁上设有多个第一螺纹槽；

所述第一L型密封圈的底部设有多个第一定位销，所述第一L型密封圈的上壁上设有多个第一安装孔。

优选的，所述第一定位销插于第一定位孔内，所述第一L型密封圈的上壁紧贴于炉盖的盖壁，所述第一螺纹槽与第一安装孔相对应，且通过螺栓固定。

优选的，所述L型内壁底部的延伸段上设有多个第二定位孔，所述L型内壁的壁体上设多个第二螺纹槽；

所述第二L型密封圈的底部设有多个第二定位销，所述第二L型密封圈的上壁上设有多个第二安装孔。

优选的，所述第二定位销插于第二定位孔内，所述第二L型密封圈的上壁与L型内壁紧贴，所述第一螺纹槽与第一安装孔相对应，同样也通过螺栓固定。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型结构简单，设计新颖，通过一组相对设置的第一L型密封圈和第二L型密封圈，能够将炉体壁的内外两侧同时进行密封，大大提高了密封性能，而且第一L型密封圈和第二L型密封圈与炉盖之间为可拆卸设计，维修替换起来也非常的方便。

附图说明

图1为本实用新型整体结构示意图；

图2为本实用新型炉盖内部结构剖视示意图；

图3为本实用新型炉盖的局部结构示意图；

图4为本实用新型第一L型密封圈的局部结构示意图；

图5为本实用新型L型内壁的结构示意图；

图6为本实用新型第二L型密封圈的局部结构示意图。

实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-6，本实用新型提供一种技术方案：一种单晶炉用密封炉盖，包括炉盖1，所述炉盖1的盖体外侧设有炉盖下法兰5，用于与炉体相连接。