[实用新型]一种用于晶圆探针调针的勾拉装置有效
| 申请号： | 202223093575.1 | 申请日： | 2022-11-21 |
| 公开（公告）号： | CN219369841U | 公开（公告）日： | 2023-07-18 |
| 发明（设计）人： | 刘红军 | 申请（专利权）人： | 浙江微针半导体有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/067 | 分类号： | G01R1/067 |
| 代理公司： | 浙江启明星专利代理有限公司 33492 | 代理人： | 张俊海 |
| 地址： | 314112 浙江省嘉兴*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 探针 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于晶圆探针调针的勾拉装置，其特征在于：包括针状主体，针状主体顶端设有凸出的勾拉块，勾拉块的上下两侧均设有勾拉槽，且勾拉槽的槽底为弧形结构。
2.如权利要求1所述的一种用于晶圆探针调针的勾拉装置，其特征在于：优选地，所述针状主体的径向截面为圆形，针状主体从底端到顶端，其直径依次减小。
3.如权利要求1所述的一种用于晶圆探针调针的勾拉装置，其特征在于：第一勾拉槽的槽口朝向针状主体的顶端，第二勾拉槽的槽口朝向针状主体的底端；所述第一勾拉槽和第二勾拉槽为半圆形结构，且直径均为100μm。
4.如权利要求1所述的一种用于晶圆探针调针的勾拉装置，其特征在于：所述勾拉块的上侧面与针状主体的顶端齐平。
5.如权利要求1所述的一种用于晶圆探针调针的勾拉装置，其特征在于：所述勾拉块的左右两侧为内凹的弧形面，与针状本体光滑过渡。
6.如权利要求1所述的一种用于晶圆探针调针的勾拉装置，其特征在于：所述针状主体末端设有握持部，握持部上设有防滑层。
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