[实用新型]半导体自动固晶机入口新型送料辅助装置有效

专利信息
申请号: 202223079793.X 申请日: 2022-11-18
公开(公告)号: CN218918790U 公开(公告)日: 2023-04-25
发明(设计)人: 李婷;何海飞 申请(专利权)人: 深圳平晨半导体科技有限公司
主分类号: H01L21/50 分类号: H01L21/50;H01L21/677;H01L21/68
代理公司: 深圳市中融创智专利代理事务所(普通合伙) 44589 代理人: 李朦;叶垚平
地址: 518000 广东省深圳市龙岗区坂*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 半导体 自动 固晶机 入口 新型 辅助 装置
【权利要求书】:

1.半导体自动固晶机入口新型送料辅助装置,其特征在于:连接在加热轨道入口处,与轨道固晶面高度一致,包括在下的加热轨道基座(1)、在上的活动连接件(2)、框架支撑托板(3)、位于框架支撑托板(3)上表面的前压轮组件(4)、后压轮组件(5)以及位于框架支撑托板(3)端部的滚筒组件(6);

所述框架支撑托板(3)位于加热轨道基座(1)和活动连接件(2)之间并被夹持固定;

所述前压轮组件(4)、后压轮组件(5)平行分布并可在间距方向进行安装位置的调节,所述前压轮组件(4)设有可以旋转的前压轮轴承(43),所述后压轮组件(5)设有可以旋转的后压轮轴承(54);

所述滚筒组件(6)包括轴承、旋转轴以及滚筒。

2.根据权利要求1所述的半导体自动固晶机入口新型送料辅助装置,其特征在于:所述前压轮组件(4)设有前压轮座(41)、与前压轮座(41)铰接的第一转臂(42)、与第一转臂(42)转动连接的前压轮轴承(43),所述前压轮座(41)设有短腰孔。

3.根据权利要求2所述的半导体自动固晶机入口新型送料辅助装置,其特征在于:所述后压轮组件(5)设有后压轮座(51)、与后压轮座(51)铰接的第二转臂(53)、与第二转臂(53)转动连接的后压轮轴承(54),所述后压轮座(51)设有长腰孔。

4.根据权利要求1所述的半导体自动固晶机入口新型送料辅助装置,其特征在于:还包括框架传感器安装支架(7)。

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