[实用新型]一种电弧坩埚制造机遮热板装置有效

专利信息
申请号: 202223001866.3 申请日: 2022-11-10
公开(公告)号: CN218561277U 公开(公告)日: 2023-03-03
发明(设计)人: 任仲勋;宋锡朋 申请(专利权)人: 济宁佑祥新材料科技有限公司
主分类号: C03B20/00 分类号: C03B20/00;C03B5/02;C03B5/08
代理公司: 北京华科知信专利代理事务所(普通合伙) 16086 代理人: 朱思钢
地址: 272415 山东省济宁市济宁经济开发*** 国省代码: 山东;37
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摘要:
搜索关键词: 一种 电弧 坩埚 制造 机遮热板 装置
【说明书】:

实用新型涉及电弧坩埚遮热板技术领域,公开了一种电弧坩埚制造机遮热板装置,包括防护壳,所述防护壳内部左侧设置有防水层,所述防水层右侧设置有隔电层,所述隔电层右侧设置有阻燃层,所述阻燃层右侧设置有防爆层,所述防爆层右侧设置有加固层,所述防护壳顶部固定连接有大内径水板,所述大内径水板前端左侧固定连接有进水管,所述大内径水板前端右侧固定连接有出水管,所述大内径水板顶部四个拐角均固定连接有铁固定架。本实用新型中,通过大内径水板和小内径石英盖板实现提高产品质量的效果,在高温情况下不变形不破裂,是绝缘体不会和电弧反应,熔制出来的坩埚内表面更洁净,从而提高了合格率,降低了生产成本。

技术领域

本实用新型涉及电弧坩埚遮热板技术领域,尤其涉及一种电弧坩埚制造机遮热板装置。

背景技术

目前,现有的电弧坩埚制造机是由室内主机、进出倾动台、和电控热源装置三大部分组成,其中室内主机由电极升降装置、框架、遮热板组成,在熔制坩埚过程中,为了避免电极升降装置在高温中受到损坏,通常用水循环遮热板装置保护电极升降装置,单晶硅棒是生产单晶硅片的原材料,随着国内和国际市场对单晶硅片需求的快速增加,单晶硅棒的市场求也呈快速增长的趋势,制作单晶硅棒所使用的石英坩埚的需求量也快速增加。

现有的遮热板装置是由水板、进水管和出水管组成,其存在的问题是熔制过程中一旦出现供水不足或水温过高的现象,导致水板变形漏水,使正在熔制过程中的坩埚报废、在电极起弧不稳的情况下,造成电弧和水板的内环拉弧产生的铁锈点掉入坩埚内,导致坩埚不合格,从而降低了合格率增加了生产成本,故而需要全新的一种电弧坩埚制造机遮热板装置。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点,而提出的一种电弧坩埚制造机遮热板装置。

为了实现上述目的,本实用新型采用了如下技术方案:一种电弧坩埚制造机遮热板装置,包括防护壳,所述防护壳内部左侧设置有防水层,所述防水层右侧设置有隔电层,所述隔电层右侧设置有阻燃层,所述阻燃层右侧设置有防爆层,所述防爆层右侧设置有加固层,所述防护壳顶部固定连接有大内径水板,所述大内径水板前端左侧固定连接有进水管,所述大内径水板前端右侧固定连接有出水管,所述大内径水板顶部四个拐角均固定连接有铁固定架,所述大内径水板顶部设置有小内径石英盖板,所述防护壳内部底侧中端固定连接有电动推杆,所述电动推杆的驱动端固定连接有电极盘,所述电极盘顶部中侧设置有多个电极。

作为上述技术方案的进一步描述:

所述防水层采用聚氨酯防水涂料设置。

作为上述技术方案的进一步描述:

所述阻燃层采用热塑性弹性体设置。

作为上述技术方案的进一步描述:

所述隔电层采用有机硅树脂设置。

作为上述技术方案的进一步描述:

所述小内径石英盖板顶部设置有翻盖。

作为上述技术方案的进一步描述:

所述大内径水板底部四周和防护壳顶部四周均设置有绝缘条。

作为上述技术方案的进一步描述:

所述电极盘的直径小于大内径水板和小内径石英盖板的直径。

本实用新型具有如下有益效果:

1、本实用新型中,通过大内径水板和小内径石英盖板实现提高产品质量的效果,大内径水板因为内径大不会受到电弧的高温,小内径石英盖板耐高温性能高,在高温情况下不变形不破裂,是绝缘体不会和电弧反应,熔制出来的坩埚内表面更洁净,从而提高了合格率,降低了生产成本。

2、本实用新型中,通过防水层、隔电层、阻燃层、防爆层和加固层之间的相互配合,使得工作人员的安全得到保障,避免发生意外情况。

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