[实用新型]一种避免溢胶的光刻机压印支架模具

说明书

本实用新型适用于光刻机技术领域，提供了一种避免溢胶的光刻机压印支架模具，包括固定安装座，所述固定安装座的下端安装有固定支腿，且固定支腿的内侧设置有收纳箱，所述固定安装座的中部上端设置有托盘，且托盘的外侧设置有导向板；固定支架，其单体分别固定安装在固定安装座的左右两端上表面，所述固定支架的内部设置有外框架，所述限位穿孔的内部设置有限位插销，所述外框架的上端内侧设置有液压伸缩杆，所述切割组件的左右两端上侧设置有与外框架相连接的限位杆。该避免溢胶的光刻机压印支架模具，有利于根据需要进行升降调节，避免在使用过程中导致溢胶的现象，且提高了该装置的实用效果。

技术领域

本实用新型属于光刻机技术领域，尤其涉及一种避免溢胶的光刻机压印支架模具。

背景技术

光刻机是采用高分辨率电子束光刻等方法将结构复杂的纳米结构图案制在模具上，然后用预先图案化的模具使聚合物材料变形从而在聚合物上形成结构图案，在使用过程中需要用到一种辅助支架，但现有的大部分装置还存在一些缺陷，本实用新型提出一种新的方案用以解决其中的不足之处。

现有技术方案存在以下缺陷：不便于根据需要进行升降调节，会在使用过程中导致溢胶现象，且实用效果不佳，因此我们提出一种避免溢胶的光刻机压印支架模具，以便于解决上述中提出的问题。

实用新型内容

本实用新型提供一种避免溢胶的光刻机压印支架模具，旨在解决不便于根据需要进行升降调节，会在使用过程中导致溢胶现象，且实用效果不佳的问题。

本实用新型是这样实现的，一种避免溢胶的光刻机压印支架模具，包括固定安装座，所述固定安装座的下端安装有固定支腿，且固定支腿的内侧设置有收纳箱，并且收纳箱的上方设置有与固定安装座相连接的引流板，所述固定安装座的中部上端设置有托盘，且托盘的外侧设置有导向板；

固定支架，其单体分别固定安装在固定安装座的左右两端上表面，所述固定支架的内部设置有外框架，且外框架的内侧开设有限位穿孔，所述限位穿孔的内部设置有限位插销，所述外框架的上端内侧设置有液压伸缩杆，且液压伸缩杆的下端设置有切割组件，所述切割组件的左右两端上侧设置有与外框架相连接的限位杆，且切割组件的中部下端设置有与托盘相连接的软模具。

优选的，所述导向板关于托盘的中心点呈等角度设置，且导向板的纵截面呈倾斜设置。

优选的，所述限位插销通过限位穿孔贯穿于固定支架与外框架之间采用卡合的方式相连接，且外框架在固定支架内构成嵌套式滑动结构。

优选的，所述切割组件还包括有盒体、调节杆、活动支架、切割刀和调节栓；

盒体，其设置在液压伸缩杆的下端；

调节杆，其单体分别设置在盒体的内部左右两侧；

活动支架，其设置在调节杆的外侧；

切割刀，其设置在活动支架的下端；

调节栓，其设置在活动支架和切割刀的连接处。

优选的，所述活动支架和切割刀均与调节栓之间采用螺纹的方式相连接，且切割刀关于盒体的中心线呈左右对称设置。

优选的，所述活动支架与调节杆之间采用螺纹的方式相连接，且调节杆的螺纹方向关于盒体的中心线呈左右相反设置。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该避免溢胶的光刻机压印支架模具，有利于根据需要进行升降调节，避免在使用过程中导致溢胶的现象，且提高了该装置的实用效果。

1、设置限位插销通过限位穿孔贯穿于固定支架与外框架之间采用卡合的方式相连接，且外框架在固定支架内构成嵌套式滑动结构，能够在使用之前根据需要进行高度调节，有效的提高了该装置的可调性。