[实用新型]一种腐蚀性化学品存储罐

说明书

本实用新型涉及半导体用湿化学品存储领域，尤其涉及一种腐蚀性化学品存储罐，包括罐体，其包括罐主体和颈部；氟板，其粘接于罐主体内表面；内衬氟管，其贯穿颈部；焊接块，与氟板和内衬氟管熔接，以形成密封；所述罐体在罐主体和颈部连接处形成有槽部；所述氟板靠近内衬氟管端与内衬氟管的外壁相抵，形成位于槽部内的倾斜部。通过焊接块熔融粘接在内衬氟管与氟板上，以实现对于内衬氟管与氟板之间起到密封的作用，避免储罐内部液体从二者连接处渗透，避免其对湿化学品的金属离子污染，保证所储存湿化学品的纯净度。

技术领域

本实用新型涉及半导体用湿化学品存储领域，尤其涉及一种腐蚀性化学品存储罐。

背景技术

半导体制造业是与化学密切相关的工艺过程，其中需要使用到很多种超高纯度的化学品，而湿化学品试剂是半导体加工环节不可或缺的关键原料。在半导体制造的湿法工艺步骤里使用了许多种液体，而这些被使用化学品往往具有酸或碱性，对常规的金属储罐具有腐蚀性；且半导体行业对这些化学品的纯度要求极高，需要达到电子级别，通常要求低于十亿分之一(ppb)或万亿分之一(ppt)。

普通的储罐无法满足半导体行业用腐蚀性化学品储存的要求，需要储罐上做防腐来解决其问题。例如储罐内衬防腐工艺，其主要分为衬里焊接成型技术、衬里缠绕成型技术、衬里等压成型技术、衬里三维旋转成型技术、带金属网格的成型技术、光板松衬和复合成型技术等。

其中，衬里等压成型技术是采用弹性模具成型，工件腔内衬里部位的内外壁在等压差条件下，弹性模具充分利用其弹性使型腔内已装好的四氟粉料压缩并紧贴在衬里壁上，而且四氟衬里厚度保持一致，完全解决了复杂形状工件内腔的制模技术难题及衬里厚度不一致的问题，可防止局部应力集中引起裂纹，同时克服了烧结过程固化反应速度不一致导致局部应力集中而带来裂纹产生的后果。在使用时发现，储罐内衬部分位于储罐颈部连接处容易被储罐内部的腐蚀性液体渗透，而腐蚀储罐，并导致影响湿化学品的纯度，为此，提出本申请。

发明内容

本实用新型所要解决的技术问题在于克服现有技术的不足，而提供一种腐蚀性化学品存储罐。

为了达到上述目的，本实用新型采用的技术方案如下：

一种腐蚀性化学品存储罐，包括：

罐体，其包括罐主体和颈部；

氟板，其粘接于罐主体内表面；

内衬氟管，其贯穿颈部；

焊接块，与氟板和内衬氟管熔接，以形成密封；

所述罐体在罐主体和颈部连接处形成有槽部；所述氟板靠近内衬氟管端与内衬氟管的外壁相抵，形成位于槽部内的倾斜部。

这种设置，能够通过内衬氟管以实现对于罐体颈部进行内衬，并且通过焊接块熔融粘接在内衬氟管与氟板上，以实现对于内衬氟管与氟板之间起到密封的作用，以该结构实现对于罐体颈部连接处进行密封，避免储罐内部液体从颈部连接处渗透，造成罐体腐蚀、并对湿化学品造成金属离子污染，从而能够保证所储存湿化学品的纯净度；并且通过设置槽部，以实现氟板靠近内衬氟管的一端向上收缩至槽部内，该结构的设置下，倾斜部与内衬氟管之间为相对设置的，这种结构下位于二者之间的焊接块能够对于倾斜部具有一个挤压力，确保倾斜部能够更好的贴合在罐体表面上，以实现倾斜部不容易脱落，而倾斜部以及内衬氟管对于焊接块上的反作用力部分相互抵消，并且将会对于焊接块两侧起到夹持的作用，确保焊接块更加难以脱落。

进一步地，所述焊接块包括主体部，所述内衬氟管包括凸出倾斜部的凸出部，所述主体部与氟板以及凸出部密封连接，所述主体部与氟板以及凸出部密封连接，主体部底部为锥面结构。主体部对于凸出部以及内衬氟管之间进行环形焊接密封，以确保连接处有着较好的密封效果；而主体部底端的倾斜结构能够实现对于附着在其上方的液体起到引导的作用，也即附着在其底部的液体将会沿着主体部底部向下流动，并且脱离主体部，避免液体长时间停留在主体上并且对于主体部进行渗透。