[实用新型]一种新型切割取边工具有效
| 申请号: | 202222937983.4 | 申请日: | 2022-11-04 |
| 公开(公告)号: | CN218631946U | 公开(公告)日: | 2023-03-14 |
| 发明(设计)人: | 鲁俊;李庆丹;斯毅平;马游舟;邱韦霖;杨甫 | 申请(专利权)人: | 广东气派科技有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
| 代理公司: | 深圳市深软翰琪知识产权代理有限公司 44380 | 代理人: | 周玉红 |
| 地址: | 523330 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 新型 切割 工具 | ||
本实用新型公开一种新型切割取边工具,用于在切割为单体芯片过程中取出粘附在UV膜上的边框,其包括把手部以及取边部,所述取边部是一个由板材弯折而成的V字型结构,所述V字型结构包括相连的连接段和水平段,所述水平段的自由端为扁平尖端,所述水平段与连接段的一端相连,所述连接段的另一端与所述把手相连;其中,所述连接段和水平段之间的折弯角度范围为90°‑180°。本实用新型采用上述方案提供一种新型切割取边工具,其独特的设计结构,能够减少操作上的多余动作,减少劳动成本,提升生产效率,降低安全隐患。
技术领域
本实用新型涉及半导体制作技术领域,尤其涉及一种取边框的工具。
背景技术
半导体制造技术领域,在把整板的芯片切为单体的过程中,首先需要将边框切开,但是由于使用的是UV膜切割,所以切开的边框并没有被冷却水冲走,而是粘附UV膜上,这时必须停机将边框取走才可切割产品。实际生产中,由于边框是粘附在UV膜上的,通常的做法有两种,一种是采用传统的镊子来取出边框,另一种是徒手取;其中,传统镊子过于尖锐,容易戳坏UV膜导致真空报警,且容易残留。而徒手拿取边框时,很难下手,这样就导致很容易伤到手,具有不易取出、易伤手的缺陷。
综上,上述现有的两种取边方案还具有如下缺陷:
1、产品损失:由于产品在切割后,每条产品多余框架需要取出,防止边框残留撞击刀片。因现有的技术缺陷加大了操作员的工作量,会导致因操作失误造成报废;
2、产能损失:挑边框需要花费大量时间进行操作,导致生产效率降低;
3、安全问题:废边框为金属,徒手取边框容易伤手。
实用新型内容
在下文中给出了关于本实用新型实施例的简要概述,以便提供关于本实用新型的某些方面的基本理解。应当理解,以下概述并不是关于本实用新型的穷举性概述。它并不是意图确定本实用新型的关键或重要部分,也不是意图限定本实用新型的范围。其目的仅仅是以简化的形式给出某些概念,以此作为稍后论述的更详细描述的前序。
为解决上述技术问题,本实用新型提供一种新型切割取边工具,用于在切割为单体芯片过程中取出粘附在UV膜上的边框,其包括把手部以及取边部,所述取边部是一个由板材弯折而成的V字型结构,所述V字型结构包括相连的连接段和水平段,所述水平段的自由端为扁平尖端,所述水平段与连接段的一端相连,所述连接段的另一端与所述把手相连;其中,所述连接段和水平段之间的折弯角度范围为90°-180°,防止使用时手触碰工作台。扁平尖端的设计,可以使尖端与UV膜平贴,方便取出边框。
其中,所述板材为不锈钢材质,不易变形,扁平尖端还经过打磨抛光使其光滑,从而防止戳穿UV膜。
进一步的,所述把手部和取边部由板材一体制成,且整个把手部以及取边部组成“Z”字型结构或近似“Z”字型的结构。
进一步的,为方便使用,所述把手部为水平延伸的条状把手,为进一步方便使用,所述把手部与所述水平段平行设置。
进一步的,所述把手部的外部套设有保护套,便于用户手持的时候保护手部。优选的,保护套为软胶套,具有手感舒适的优点。
进一步的,所述取边部的连接段和水平段之间为圆弧过渡。
进一步的,所述把手部与取边部的连接段之间为圆弧过渡。
进一步的,所述连接段和水平段之间的折弯角度范围优选为100°-140°。
优选的,所述把手部与取边部的扁平尖端形成80度、150mm的弧形设计。
作为一个具体的优选方案,所述连接段和水平段之间的折弯角度为125°。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





