[实用新型]一种防掉棒装置及单晶炉

权利要求书

1.一种防掉棒装置，用于防止上提拉机构所夹持的晶棒掉落，其特征在于，所述上提拉机构用于夹持并提拉所述晶棒，所述防掉棒装置包括：

重量监测装置，所述重量监测装置设于所述上提拉机构上，用于实时监测所述晶棒的重量；

位置检测装置，所述位置检测装置用于检测所述晶棒在提拉过程中所处的位置；

夹持机构，所述夹持机构与所述重量监测装置及所述位置检测装置均电连接，所述夹持机构位于所述晶棒周围，具有防护状态和夹持状态，

当所述位置检测装置检测到所述晶棒处于预设位置时，所述夹持机构处于防护状态；

当所述重量监测状态监测到的所述晶棒的重量减小时，所述夹持机构处于夹持状态。

2.根据权利要求1所述的防掉棒装置，其特征在于，所述防掉棒装置还包括固定于所述晶棒周围的导向机构，所述导向机构包括至少两个均匀分布于所述晶棒周围的导轨，每个所述导轨均沿所述晶棒的提拉方向延伸；所述导轨的一端靠近所述上提拉机构，另一端位于所述晶棒初始位置的上方。

3.根据权利要求2所述的防掉棒装置，其特征在于，所述导向机构包括第一导轨和第二导轨，所述第一导轨和所述第二导轨设于所述晶棒的相对两侧。

4.根据权利要求3所述的防掉棒装置，其特征在于，所述夹持机构包括与所述导轨一一对应的至少两个夹持组件，每个所述夹持组件设于相应所述导轨上；当所述夹持机构处于防护状态时，每个所述夹持组件沿相应所述导轨移动，所述夹持组件的移动方向与所述晶棒的提拉方向相同。

5.根据权利要求4所述的防掉棒装置，其特征在于，当所述夹持机构处于防护状态时，所述夹持组件不与所述晶棒接触，位于不同所述导轨上的所述夹持组件之间的距离的取值范围为20mm～35mm。

6.根据权利要求3所述的防掉棒装置，其特征在于，所述位置检测装置包括第一位置检测件和第二位置检测件，所述第一位置检测件设于所述第一导轨远离所述上提拉机构的一端，所述第二位置检测件设于所述第二导轨远离所述上提拉机构的一端；

所述第一位置检测件具有光线发射部，所述第二位置检测件具有光线接收部，位于所述光线发射部和所述光线接收部之间的光线的延伸方向与所述晶棒的提拉方向垂直，所述预设位置为所述光线发射部和所述光线接收部之间的光线的位置。

7.根据权利要求4所述的防掉棒装置，其特征在于，所述防掉棒装置还包括驱动组件，所述驱动组件用于驱动所述夹持组件沿相应所述导轨移动，当所述夹持机构处于夹持状态时，所述驱动组件还用于驱动所述夹持组件夹持所述晶棒。

8.根据权利要求1所述的防掉棒装置，其特征在于，所述防掉棒装置还包括用于警示晶棒重量减小的报警装置，所述报警装置与所述重量监测装置及所述夹持机构电连接，当所述重量监测状态监测到的所述晶棒的重量减小时，所述报警装置启动。

9.根据权利要求1所述的防掉棒装置，其特征在于，所述上提拉机构与所述晶棒相对的一侧具有钨丝绳，所述重量监测装置与所述钨丝绳连接。

10.一种单晶炉，其特征在于，所述单晶炉包括主室、副室、隔离阀以及位于所述副室内的防掉棒装置，所述隔离阀位于所述主室和所述副室之间，所述防掉棒装置为权利要求1～9任一项所述的防掉棒装置；

所述预设位置位于所述副室靠近所述隔离阀的一端。