[实用新型]一种灯丝夹具及离子源头结构有效
| 申请号: | 202222888619.3 | 申请日: | 2022-10-31 |
| 公开(公告)号: | CN218471891U | 公开(公告)日: | 2023-02-10 |
| 发明(设计)人: | 王冠;陈晨;苗荣;刘纪铨 | 申请(专利权)人: | 上海积塔半导体有限公司 |
| 主分类号: | H01J1/20 | 分类号: | H01J1/20;H01J37/08;H01J37/317 |
| 代理公司: | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人: | 余明伟 |
| 地址: | 201306 上海市浦东新区中国上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 灯丝 夹具 离子 源头 结构 | ||
1.一种灯丝夹具,其特征在于,所述灯丝夹具至少包括:两个灯丝夹;
各灯丝夹均包括第一夹爪,第二夹爪及夹臂;所述第一夹爪的下端固定在所述夹臂的上端,所述第二夹爪与所述第一夹爪贴合并固定于所述第一夹爪上;
各灯丝夹的第一夹爪相邻设置。
2.根据权利要求1所述的灯丝夹具,其特征在于:两个灯丝夹对称设置;两个灯丝夹上端之间的距离小于两个灯丝夹下端之间的距离。
3.根据权利要求1所述的灯丝夹具,其特征在于:所述第二夹爪与所述第一夹爪的贴合部设置一灯丝孔位,所述灯丝孔位的轴线与所述第二夹爪与所述第一夹爪的贴合面平行。
4.根据权利要求3所述的灯丝夹具,其特征在于:所述第一夹爪朝向所述第二夹爪的侧面上设置一台阶;所述第二夹爪朝向第一夹爪的对应位置设置凹陷;所述灯丝孔位设置于所述台阶与所述凹陷的贴合处。
5.根据权利要求1-4任意一项所述的灯丝夹具,其特征在于:所述第二夹爪的上端覆盖所述第一夹爪的上端;所述第一夹爪的上端设置有公扣;所述第二夹爪与所述公扣对应位置设置有母扣;所述公扣嵌入所述母扣中构成卡扣结构。
6.根据权利要求1所述的灯丝夹具,其特征在于:所述第一夹爪和所述第二夹爪靠近所述夹臂的位置都设置有螺栓孔位;两个螺栓孔位对齐设置;所述第二夹爪通过螺栓固定于所述第一夹爪上。
7.根据权利要求1所述的灯丝夹具,其特征在于:所述夹臂上设置有若干个固定孔。
8.一种离子源头结构,其特征在于,所述离子源头结构至少包括:灯丝、阴极、阴极夹具、绝缘子、起弧室及如权利要求1-7任一项所述的灯丝夹具;
所述起弧室内部中空,且一端设置有一开口;所述灯丝和所述阴极穿过所述开口并进入所述起弧室内部;
所述阴极夹具通过第一绝缘子固定于所述起弧室的外侧,且夹持所述阴极;
所述灯丝夹具的夹臂分别通过第二绝缘子及第三绝缘子固定于所述起弧室的外侧,且
夹持所述灯丝。
9.根据权利要求8所述的离子源头结构,其特征在于:两个灯丝夹设置于所述阴极夹具的两侧。
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