[实用新型]一种蒸空溅射镀膜设备的分割型MASK框

权利要求书

1.一种蒸空溅射镀膜设备的分割型MASK框，包括第一MASK框体(1)和第二MASK框体(11)，其特征在于，还包括：连接组件(2)，所述连接组件(2)连接在第一MASK框体(1)和第二MASK框体(11)之间；

所述连接组件(2)包括主连接块(21)和副连接块(22)，所述副连接块(22)固定安装在主连接块(21)上，所述主连接块(21)和副连接块(22)的一侧端连接第二MASK框体(11)，所述主连接块(21)和副连接块(22)的另一侧端连接第一MASK框体(1)。

2.根据权利要求1所述的一种蒸空溅射镀膜设备的分割型MASK框，其特征在于，所述主连接块(21)和第二MASK框体(11)的连接处卡接固定块一(25)，然后所述固定块一(25)通过螺钉固定在主连接块(21)和第二MASK框体(11)上。

3.根据权利要求1所述的一种蒸空溅射镀膜设备的分割型MASK框，其特征在于，所述主连接块(21)和第一MASK框体(1)的连接处卡接固定块二(26)，然后所述固定块二(26)通过螺钉固定在主连接块(21)和第一MASK框体(1)上。

4.根据权利要求1所述的一种蒸空溅射镀膜设备的分割型MASK框，其特征在于，所述第一MASK框体(1)和第二MASK框体(11)和主连接块(21)的两端上侧都开设有连接槽(27)。

5.根据权利要求3所述的一种蒸空溅射镀膜设备的分割型MASK框，其特征在于，所述固定块二(26)和固定块一(25)的上端内侧均固定安装卡块(261)，所述卡块(261)卡接在连接槽(27)内侧。

6.根据权利要求3所述的一种蒸空溅射镀膜设备的分割型MASK框，其特征在于，所述固定块二(26)和固定块一(25)的下端内侧均安装有弹簧(262)，所述弹簧(262)上端安装压板(263)，所述压板(263)卡接在主连接块(21)与第一MASK框体(1)和第二MASK框体(11)的连接处。

7.根据权利要求1所述的一种蒸空溅射镀膜设备的分割型MASK框，其特征在于，所述副连接块(22)上分别开设有插槽一(28)和插槽二(29)，所述插槽一(28)内侧插入第二MASK内框(24)通过螺钉固定，所述插槽二(29)内侧插入第一MASK内框(23)通过螺钉固定。

8.根据权利要求3所述的一种蒸空溅射镀膜设备的分割型MASK框，其特征在于，所述固定块二(26)和固定块一(25)的后端内壁均开设有螺纹孔(264)，所述螺纹孔(264)用于螺钉安装。