[实用新型]制备孔径小，孔径集中度高的滤膜生产设备及其冷却系统

说明书

本实用新型公开一种制备孔径小，孔径集中度高的滤膜生产设备及其冷却系统，包含:一挤出机，以挤出一熔体；一冷却系统，设置于所述挤出机的一侧，使所述熔体冷却，产生一铸片；一加热烘箱，设置于所述冷却系统的一侧，所述铸片经所述加热烘箱进行加热；及一拉伸装置，设置于所述加热烘箱的一侧，所述拉伸装置对加热后的所述铸片进行一拉伸程序，并进行退火、冷却后萃取程序，以形成一滤膜。以浸于冷却槽中的辊体作为冷却系统，并接续加热、拉伸等程序，以生成孔径小，且，孔径集中度高的薄膜，并解决常规的冷凝辊系统冷却速度慢，以至于薄膜具有孔径大且分布不均匀的现象。

技术领域

本实用新型涉及一种生产设备，尤指一种制备孔径小，孔径集中度高的滤膜生产设备及其冷却系统。

背景技术

为了进一步减少晶圆缺陷，晶圆上的点胶需要采用额外的过滤步骤，需要提供一种孔径小且分布均匀的滤膜来提高材料的洁净度。

为此，本发明提供一种制备孔径小，孔径集中度高的滤膜生产设备及其冷却系统，以冷却系统改善常规的辊冷程序导致冷却速度过慢的问题，并大幅降低薄膜孔径，同时，提升其孔径集中度，即改善现有技术中孔径大且分布不均匀现象。

实用新型内容

本实用新型的目的在于，提供一种滤膜生产设备，以浸于冷却槽中的辊体作为冷却系统，并结合挤出机将熔体挤出，且，接续加热、拉伸等程序，解决常规的冷凝辊系统冷却速度慢的问题，而导致薄膜孔径大且分布不均匀的现象。

本实用新型的另一目的在于，提供一种冷却系统，以冷凝辊、输送辊及靠辊构成辊体，使得熔体可通过辊体被输送，同时以冷却槽进行冷却，以控制薄膜孔径。

为达成上述的目的，本实用新型提供一种滤膜生产设备，其特征在于，包含:

一挤出机，以挤出一熔体；

一冷却系统，设置于所述挤出机的一侧，使所述熔体冷却，产生一铸片；

一加热烘箱，设置于所述冷却系统的一侧，所述铸片经所述加热烘箱进行加热；及

一拉伸装置，设置于所述加热烘箱的一侧，所述拉伸装置对加热后的所述铸片进行一拉伸程序，并进行退火、冷却后萃取程序，以形成一滤膜。

更佳者，所述拉伸程序包含一第一拉伸程序及一第二拉伸程序，其中，所述第一拉伸程序为双向拉伸，且，所述第二拉伸程序为单向拉伸。

更佳者，所述第一拉伸程序后的冷却温度为30-70℃，且，冷却时间为30-40分钟。

更佳者，所述的冷却系统包含一辊体及一冷却槽，所述辊体的一部份设置于所述冷却槽内，所述熔体经所述辊体输送，所述冷却槽盛装一冷却液，使所述熔体经所述冷却液进行冷却程序。

更佳者，所述辊体包含一冷凝辊，所述冷凝辊完全浸于所述冷却液中。

更佳者，所述辊体包含一输送辊，所述输送辊设置于所述冷凝辊的一侧，使所述熔体经所述输送辊离开所述冷却系统。

更佳者，所述辊体包含一靠辊，所述靠辊设置于所述冷凝辊的另一侧，使所述熔体经所述靠辊与所述冷凝辊之间时，被辗压定型。

更佳者，所述冷却液的温度为-25℃-10℃。

更佳者，所述滤膜经一退火程序后冷却，其冷却温度为30-70℃，冷却时间为 30-40分钟。

为达成上述的另一目的，本实用新型提供一种冷却系统，其特征在于，包含:

一辊体，包含一冷凝辊、一输送辊及一靠辊，所述冷凝辊包含一第一辊件、一第二辊件及一第三辊件，所述第二辊件设置于所述第一辊件与所述第三辊件之间，所述输送辊设置于所述冷凝辊的一侧，所述靠辊设置于所述冷凝辊的另一侧，一熔体通过所述靠辊与所述冷凝辊之间，并经所述冷凝辊传输至所述输送辊；及