[实用新型]一种惰性气体密封箱有效
| 申请号: | 202222845269.2 | 申请日: | 2022-10-26 |
| 公开(公告)号: | CN218853936U | 公开(公告)日: | 2023-04-14 |
| 发明(设计)人: | 王永红 | 申请(专利权)人: | 北京艾谱瑞斯科技有限公司 |
| 主分类号: | B01D53/74 | 分类号: | B01D53/74;B01D46/00;G01N33/00;G01D21/02 |
| 代理公司: | 北京高文律师事务所 11359 | 代理人: | 徐江华 |
| 地址: | 101300 北京市顺*** | 国省代码: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 惰性气体 密封 | ||
本实用新型提供一种惰性气体密封箱,包括密封箱体、净化系统,两者间通过两条管道相连接,两条管道上分别设置有补气阀门与泄压阀门,所述密封箱体设置有观察窗、手套孔、传递舱,以及多种气体传感器,所述净化系统设置有相连接的循环风机和气体处理部件,所述气体处理部件采用物理过滤部件或者化学吸附部件。本实用新型能够提供一个惰性气体环境的处理装置,并通过各传感器监测密封箱体的气体含量,通过与密封箱体相连接的净化系统对湿度、含氧、含氢进行处理,从而使得密封箱体的惰性气体符合实验要求。本实用新型操作简单,处理方便。
技术领域
本实用新型涉及一种密封箱,尤其是涉及一种惰性气体密封箱。
背景技术
随着新型材料应用,精密半导体制造等科研应用的需求,越来越多的对实验环境与生产环境的要求提高,要求实验与生产环境是无水,无氧,无外界干扰的情况下进行,这样就产生了在真空环境中,与在惰性气体环境中进行实验与生产的要求。但是,人类虽然可以很容易的实现真空环境,但是在真空中是不能人为的去操作真空室内部的物品的,这就是真空密封舱没有普及应用的原因。所以为了实验人员既可以有无水无氧的环境,又可以在环境中操作,对其实验的内容进行操作,就产生了惰性气体密封箱这么一个实验平台。
实用新型内容
本实用新型提供了一种惰性气体密封箱,解决了在惰性气体的环境中进行实验的装置问题,其技术方案如下所述:
一种惰性气体密封箱,包括密封箱体、净化系统,两者间通过两条管道相连接,两条管道上分别设置有补气阀门与泄压阀门,所述密封箱体设置有观察窗、手套孔、传递舱,以及多种气体传感器,所述净化系统设置有相连接的循环风机和气体处理部件,所述气体处理部件采用物理过滤部件或者化学吸附部件。
所述多种气体传感器包括湿度传感器、氧传感器、氢传感器,所述净化系统的气体处理部件对应设置有依次连接的除水净化柱、除氧净化柱、除氢净化柱。
所述多种气体传感器还包括微压压差传感器,根据微压压差传感器的信号,控制模块控制控制补气阀门与泄压阀门的开启。
所述多种气体传感器还包括温度传感器。
所述净化系统连接两条管道的部位设置有过滤器。
还包括控制模块和监控系统,所述多种传感器与控制模块相连接,所述控制模块与监控系统相连接,所述监控系统采用触摸屏,用于实时显示各传感器探测监控到的数据。
所述密封箱体的左侧设置有检修门。
所述手套孔上安装的是耐腐蚀的手套,对应材料为丁基橡胶。
所述密封箱体的材料选用耐腐蚀的304不锈钢或316不锈钢。
所述惰性气体密封箱,能够提供一个惰性气体环境的处理装置,并通过各传感器监测密封箱体的气体含量,通过与密封箱体相连接的净化系统对湿度、含氧、含氢进行处理,从而使得密封箱体的惰性气体符合实验要求。本实用新型操作简单,处理方便。
附图说明
图1是所述惰性气体密封箱的结构示意图;
1-密封箱体;2-观察窗;3-手套孔;4-传递舱;5-检修门;6-微压压差传感器;7-湿度传感器;8-氧传感器;9-温度传感器;10-氢传感器;11-净化系统;12-除水净化柱;13-除氧净化柱;14-除氢净化柱;15-循环风机;16-控制模块;17-过滤器;18-补气阀门;19-泄压阀门;20-监控系统。
具体实施方式
如图1所示,所述惰性气体密封箱,包括密封箱体1和与其通过管道相连接的净化系统11。所述密封箱体1的材料选用耐腐蚀的304不锈钢或316不锈钢,采用焊接的方式或者拼接的方式,使其达到完全密封的状态,所述密封箱体1的尺寸、外形可以根据客户实际设备定制。
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