[实用新型]一种压电超声换能器

权利要求书

1.一种压电超声换能器，其特征在于，包括：

设置有第一通孔的衬底层；

振膜，设置于所述衬底层上，所述振膜上设置有第二通孔，所述第二通孔的孔径由靠近所述衬底层的一侧至所述第二通孔的另一侧逐渐增大；以及

钝化层，设置于所述振膜上，且所述钝化层上设置有第三通孔，所述第三通孔的孔径与所述第一通孔的孔径一致。

2.根据权利要求1所述的压电超声换能器，其特征在于，所述衬底层包括：

具有一背腔的基底层；

二氧化硅层，设置于所述基底层上；以及

结构层，设置于所述二氧化硅层上，所述第一通孔位于所述结构层上。

3.根据权利要求2所述的压电超声换能器，其特征在于，所述振膜包括：

下电极层，设置于所述结构层上，且所述下电极位于所述结构层上远离所述二氧化硅层的一侧；

压电层，设置于所述下电极上，且所述压电层位于所述下电极层上远离所述结构层的一侧；以及

上电极层，设置于所述压电层上，且所述上电极层位于所述压电层与所述钝化层之间。

4.根据权利要求1或2或3所述的压电超声换能器，其特征在于，所述压电超声换能器还包括牺牲层，所述牺牲层位于所述第二通孔内，且所述牺牲层上设置有第四通孔，所述第四通孔的孔径与所述第一通孔的孔径一致。

5.根据权利要求2所述的压电超声换能器，其特征在于，所述第二通孔靠近所述结构层的一侧的孔径大于所述第一通孔的孔径。