[实用新型]一种自动导片上料机构

权利要求书

1.一种自动导片上料机构，适用于晶圆甩干机的上料，其特征在于，包括：机架(1)，横向排列在所述机架(1)上、且可纵向位移的多个第一晶圆托篮(5)，在所述机架(1)上、并与所述第一晶圆托篮(5)并排的第二晶圆托篮(7)，在所述第一晶圆托篮(5)和所述第二晶圆托篮(7)上的抱片机构(3)，在所述抱片机构(3)正下方、且可上下位移的举片机构(6)，移动连接于所述机架(1)上、用于监测所述第二晶圆托篮(7)内晶圆的监测机构(8)，以及在所述机架(1)上位移、用于将所述第二晶圆托篮(7)送入晶圆甩干机内的气爪机构(12)；

所述机架(1)上连接有、用于所述气爪机构(12)上下位移的第四丝杆机构(9)，所述第四丝杆机构(9)上连接有、用于所述气爪机构(12)倾斜上料的抬升机构(10)，连接于所述抬升机构(10)和所述气爪机构(12)之间、用于纵向位移的第五丝杆机构(11)。

2.如权利要求1所述的一种自动导片上料机构，其特征在于，抱片机构(3)通过第一丝杆机构(2)实现横向位移；所述抱片机构(3)包括：与所述第一丝杆机构(2)连接的第一抱片支架(31)，连接于所述第一抱片支架(31)顶部的第二抱片支架(32)，以及连接于所述第二抱片支架(32)顶部的抱片机构本体(33)。

3.如权利要求2所述的一种自动导片上料机构，其特征在于，所述举片机构(6)通过第二丝杆机构(4)连接于所述第一抱片支架(31)上；所述举片机构(6)包括：与所述第二丝杆机构(4)连接的第一举片支架(61)，竖直连接于所述第一举片支架(61)上的第二举片支架(62)，以及连接于所述第二举片支架(62)顶部的举片机构本体(63)。

4.如权利要求1所述的一种自动导片上料机构，其特征在于，所述第一晶圆托篮(5)通过第三丝杆机构(13)连接于所述机架(1)上，所述第一晶圆托篮(5)包括：连接于所述第三丝杆机构(13)上的第一托篮支架(51)，以及插接在所述第一托篮支架(51)上的第一托篮本体(52)。

5.如权利要求1所述的一种自动导片上料机构，其特征在于，所述第二晶圆托篮(7)包括：连接于所述机架(1)上的第二托篮支架(71)，以及插接在所述第二托篮支架(71)上的第二托篮本体(72)。

6.如权利要求1所述的一种自动导片上料机构，其特征在于，所述监测机构(8)通过十字滑动机构(14)连接于所述机架(1)上，所述监测机构(8)包括：光电传感器(81)，以及竖直连接于所述十字滑动机构(14)上、用于连接所述光电传感器(81)的监测支架(82)。

7.如权利要求1所述的一种自动导片上料机构，其特征在于，所述抬升机构(10)包括：连接于所述第五丝杆机构(11)底部前后两侧位置的两组轴接机构，以及与一侧轴接机构连接的、用于上下位移的第六丝杆机构。