[实用新型]超薄柔性晶圆传送叉手形变震动采集记录仪

说明书

本实用新型公开了超薄柔性晶圆传送叉手形变震动采集记录仪，包括安装在晶圆传送叉手上的石英片、布置在石英片上的若干个应变片、设置在石英片上的采集电路板、为采集电路供电的电源以及为电源充电与为采集电路板传送数据的若干个数据接口与充电触点，所述采集电路板上集成有对于应变片进行平衡调整以及对应变片采集信号差分运放处理的电路，本实用新型涉及晶圆传送叉手运行数据采集技术领域。该超薄柔性晶圆传送叉手形变震动采集记录仪，能够简便地安装在晶圆传送叉手上，同时能够有效排除在对于晶圆传送叉手运行数据检测时其他因素的干扰，在设备的实际运行状态，连续精准地记录晶圆传送叉手的形变震动及加减速度曲线。

技术领域

本实用新型涉及晶圆传送叉手运行数据采集技术领域，具体为超薄柔性晶圆传送叉手形变震动采集记录仪。

背景技术

涂胶显影机的晶圆传送叉手位于晶圆传送机械臂上，处于整机核心的高速的频繁启停的多轴运动状态，对整机的稳定性和可靠性以及产能保证影响很大，并且安装位置紧凑狭小，动态调试困难，现基本是依据工程技术人员主观经验判断，一些分项的共振点电器测试很难反映晶圆运动叉手实际运行过程中复杂运动包络中本身的形变与震动状态或由其他机械电器耦合干扰引起的随机状态变化。同时晶圆传送叉手材质轻薄、力臂长与晶圆间隙小，因此对于记录仪的安装困难，再加上整体位于运动的传送机械臂上，供电也是一大问题。

发明内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型提供了超薄柔性晶圆传送叉手形变震动采集记录仪，解决了现有的晶圆传送叉手不方便加装运行数据记录仪以及记录仪记录的数据易于受到干扰的问题。

(二)技术方案

为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：超薄柔性晶圆传送叉手形变震动采集记录仪，包括安装在晶圆传送叉手上的石英片、布置在石英片上的若干个应变片、设置在石英片上的采集电路板、为采集电路供电的电源以及为电源充电与为采集电路板传送数据的若干个数据接口与充电触点，所述采集电路板上集成有对于应变片进行平衡调整以及对应变片采集信号差分运放处理的电路，所述采集电路板还集成有对于差分放大后信号进行数据处理的MCU数据处理电路以及用于存储数据的FLASH电路。

优选的，所述应变片为全桥电阻应变片且应变设置的数量为三个分别为应变片A、应变片B与应变片C，所述全桥电阻应变片采用四个温度特性一致的应变片桥接组成。

优选的，所述平衡调整与差分放大处理的电路分别为传感器桥壁平衡调整电路与差分仪表放大器电路，所述传感器桥壁平衡调整电路对于电桥失衡引起的工作点偏差需进行调整，所述差分仪表放大器电路对于经过平衡调整的差分电压信号进行放大处理后，接入MCU数据处理单元的输入端。

优选的，所述传感器桥壁平衡调整电路采用型号为MCP41050具有256抽头的数字电位器由MCU数据处理单元控制进行程序调整，所述差分仪表放大器电路采用AD620信号的差分仪表放大器将差分电压信号放大到0～3V。优选的，所述石英片通过在下端面设置的可重复实用的不干胶背胶与晶圆传送叉手固定连接，所述应变片、采集电路板与电源均采用硅胶封装在石英片的上端面。

优选的，所述电源采用片状可充电锂电池，所述数据接口与充电触点均经过镀金处理，所述应变片厚度在0.1mm以下。优选的，所述MCU数据处理电路还分别与Mini USB_接口电路、电源管理电路以及开关机管理电路连接，所述FLASH电路中存储器采用SPI Flash。

(三)有益效果

本实用新型提供了超薄柔性晶圆传送叉手形变震动采集记录仪。具备以下有益效果：