[实用新型]一种集成电路可靠度的测试装置有效
| 申请号： | 202222766334.2 | 申请日： | 2022-10-20 |
| 公开（公告）号： | CN218727804U | 公开（公告）日： | 2023-03-24 |
| 发明（设计）人： | 翟腾;高宏玲;马子扬;申武鑫;张国杰;艾文思;郭青帅 | 申请（专利权）人： | 中国软件评测中心（工业和信息化部软件与集成电路促进中心） |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28;G01R1/04 |
| 代理公司： | 广州蓝晟专利代理事务所(普通合伙) 44452 | 代理人： | 欧阳凯 |
| 地址： | 100089 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 集成电路 可靠 测试 装置 | ||
1.一种集成电路可靠度的测试装置，包括装置底板(1)和开设在装置底板(1)上表面的放置槽(2)，其特征在于：所述装置底板(1)上设置有固定组件(3)；
所述固定组件(3)包括设置在放置槽(2)上的若干个吸盘(37)，若干个所述吸盘(37)与放置槽(2)之间均开设有出气孔(34)，所述装置底板(1)的内腔中形成有与出气孔(34)相对应的负压腔室(32)，所述负压腔室(32)内滑动设置有活塞(31)，所述活塞(31)的一端固定安装有连接杆(33)，所述连接杆(33)滑动设置在装置底板(1)上，所述装置底板(1)上设置有按压组件(35)，所述装置底板(1)上还设置有出气组件(36)。
2.根据权利要求1所述的一种集成电路可靠度的测试装置，其特征在于：所述按压组件(35)包括滑动设置在放置槽(2)上的若干个按压柱(351)，所述放置槽(2)上开设有若干个连接槽(353)，若干个所述按压柱(351)均滑动设置在对应位置的连接槽(353)内，所述按压柱(351)的下端固定连接有第一弹簧(352)的一端，所述第一弹簧(352)的另一端与连接槽(353)的底壁固定连接。
3.根据权利要求2所述的一种集成电路可靠度的测试装置，其特征在于：所述按压柱(351)的下端部位与连接槽(353)贴合设置。
4.根据权利要求3所述的一种集成电路可靠度的测试装置，其特征在于：所述出气组件(36)包括一端固定连接在负压腔室(32)侧壁上的第二弹簧(365)，所述第二弹簧(365)的另一端固定连接有滑杆(364)，所述装置底板(1)上形成有滑动腔室(363)，所述滑杆(364)滑动设置在滑动腔室(363)上，所述装置底板(1)上还形成有出气腔室(361)，所述出气腔室(361)与连接槽(353) 之间开设有限位孔(362)，所述出气腔室(361)与滑动腔室(363)相连通。
5.根据权利要求4所述的一种集成电路可靠度的测试装置，其特征在于：所述滑杆(364)与滑动腔室(363)的连接处设置有密封垫(4)。
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