[实用新型]一种真空镀膜机腔体冷却装置

说明书

本申请涉及真空镀膜机技术领域，且公开了一种真空镀膜机腔体冷却装置，包括腔体，腔体正面侧开设有开口，腔体正面侧开口处铰接有封闭门，腔体内底壁中部固定连接有工件盘，腔体顶部的一端焊接有固定架，固定架顶端粘接有空调，腔体顶端中部固定贯穿有自带手动阀门的导管，空调出风口处粘接有连接罩，导管的一端固定套设有喇叭罩，喇叭罩的内部设置有风扇。本方案通过启动空调，并打开导管的阀门，使得连接罩和喇叭罩处于连通状态，空调会将冷气从出风口排到连接罩中，并经连接罩传输给导管，而后风扇将导管中的冷气抽出并排到工件盘上，实现对工件盘上的基片进行冷却。

技术领域

本申请涉及真空镀膜机技术领域，尤其是涉及一种真空镀膜机腔体冷却装置。

背景技术

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空电阻加热蒸发，电子枪加热蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积，离子束溅射等很多种，主要思路是分成蒸发和溅射两种；而对于真空镀膜机腔体内的工件盘上放置的基片在镀膜完成后，基片自身具备一定温度，若不对其进行冷却并将其直接取出，则会影响到后续的染料旋涂、溅镀反射层等工艺步骤；而在中国专利授权公告号为CN216838154U的实用新型，公开了一种真空镀膜机腔体冷却装置，包括腔体，腔体内表面的顶部固定连接有工件盘，腔体内表面的左右两侧均设有冷却机构，且冷却机构包括两个对称分布的半导体制冷片，两个半导体制冷片之间设有马达，且马达输出轴靠近工件盘的一端固定连接有转动扇，腔体内表面顶部的左右两侧均固定连接有弧形过滤板，该真空镀膜机腔体冷却装置，在基片镀膜完成后，半导体制冷片开设制冷，并且由马达转动带动转动扇转动，将冷气吹至工件盘方向，配合弧形过滤板的设置，冷气流经过弧形过滤板的缓冲使得冷气流更加和缓均匀，实现对工件盘上的基片进行冷却，而对比文件中所用到的半导体制冷片是一个热传递的工具，在通上直流电以后，其冷端则会从周围吸收热量，用于制冷，而其热端释放热量至周围环境中，可用于制热，但半导体制冷存在制冷系数低、制冷温差小等不足的缺点，这样很难在很短时间内降低腔体内的温度并对放置在工件盘上的基片进行冷却。

实用新型内容

为了解决上述提出的问题，本申请提供一种真空镀膜机腔体冷却装置。

本申请提供的一种真空镀膜机腔体冷却装置采用如下的技术方案：

一种真空镀膜机腔体冷却装置，包括腔体，所述腔体正面侧开设有开口，所述腔体正面侧开口处铰接有封闭门，所述腔体内底壁中部固定连接有工件盘，所述腔体顶部的一端焊接有固定架，所述固定架顶端粘接有空调，所述腔体顶端中部固定贯穿有自带手动阀门的导管，所述空调出风口处粘接有连接罩，所述导管通过连接罩与空调出风口连通，所述导管的一端固定套设有喇叭罩，所述喇叭罩的内部设置有风扇。

通过采用上述技术方案，通过打开导管的阀门，使得连接罩和喇叭罩处于连通状态，而后通过启动空调和风扇，空调会将冷气从出风口排到连接罩中，并经连接罩传输给导管，而后风扇将导管中的冷气抽出并排至腔体中，可降低工件盘周围的温度，进而实现对工件盘上的基片进行冷却的目的。

优选的，所述腔体的底端粘接有支撑架，所述支撑架底端的四个边角处均设置有脚刹万向轮。

通过采用上述技术方案，支撑架可用于对腔体进行支撑，四个脚刹万向轮配合可带动支撑架进行移动，进而带动腔体进行移动。

优选的，所述腔体的两侧均固定连接有扶手。

通过采用上述技术方案，通过手握两个扶手可便于推动腔体进行移动。

优选的，所述封闭门正面侧开设有扣槽，所述扣槽其中一个内壁粘接有扣板，所述扣板的顶端和底端分别与扣槽的内顶壁和内底壁粘接。

通过采用上述技术方案，通过手扣扣板，并拉动扣板，可将封闭门打开。

综上所述，本申请包括以下有益技术效果：