[实用新型]氦气回收系统

权利要求书

1.氦气回收系统，用于对用气装置内的氦气进行回收再利用，其特征在于，所述氦气回收系统包括：

回收装置，所述回收装置的输入端用于连通于所述用气装置，以回收所述用气装置内的气体；

纯化装置，包括纯化罐、纯化膜、排气阀及混合罐，所述纯化膜容置于所述纯化罐，所述纯化膜将所述纯化罐的入口及出口隔开，所述混合罐连通于所述纯化罐的出口，所述纯化罐的入口连接于所述回收装置的输出端，所述排气阀连接于所述纯化罐；

压缩装置，所述压缩装置的输入端连接于所述混合罐，所述压缩装置用于压缩及存储所述混合罐中输出的气体，所述压缩装置的输出端用于连通于所述用气装置，以向所述用气装置供应气体。

2.根据权利要求1所述的氦气回收系统，其特征在于，所述氦气回收系统还包括二次纯化装置，所述二次纯化装置包括第四控制阀，所述压缩装置的输出端通过所述第四控制阀连通于所述回收装置的输入端。

3.根据权利要求2所述的氦气回收系统，其特征在于，所述压缩装置包括压缩机、稳压罐及第二控制阀，所述压缩机连接于所述混合罐及所述稳压罐，所述压缩机用于将所述混合罐内的气体压缩后送入所述稳压罐，所述稳压罐用于通过所述第二控制阀连通于所述用气装置，所述二次纯化装置还包括第一浓度检测仪，所述第一浓度检测仪连接于所述稳压罐，并用于检测所述稳压罐内的氦气浓度，所述第一浓度检测仪与所述第四控制阀、所述第一浓度检测仪与所述第二控制阀均通信连接。

4.根据权利要求3所述的氦气回收系统，其特征在于，所述氦气回收系统还包括补气装置，所述补气装置包括氦气罐及第三控制阀，所述氦气罐通过所述第三控制阀连通于所述用气装置，所述第一浓度检测仪与所述第三控制阀通信连接。

5.根据权利要求4所述的氦气回收系统，其特征在于，所述补气装置还包括第五控制阀，所述氦气罐通过所述第五控制阀连通于所述用气装置。

6.根据权利要求3所述的氦气回收系统，其特征在于，所述氦气回收系统还包括补气装置，所述补气装置包括氦气罐及第三控制阀，所述氦气罐通过所述第三控制阀连通于所述稳压罐，和/或，所述氦气罐通过所述第三控制阀连通于所述混合罐，所述第一浓度检测仪与所述第三控制阀通信连接。

7.根据权利要求4至6中任一项所述的氦气回收系统，其特征在于，所述二次纯化装置还包括第一压力传感器，所述第一压力传感器连接于所述稳压罐，并用于检测所述稳压罐内的气体压力，所述第一压力传感器与连接于所述用气装置的所述第三控制阀、所述第一压力传感器与所述第二控制阀、所述第一压力传感器与所述第四控制阀均通信连接。

8.根据权利要求3所述的氦气回收系统，其特征在于，所述压缩装置还包括第一过滤器，所述第一过滤器连接于所述压缩机与所述稳压罐之间。

9.根据权利要求1所述的氦气回收系统，其特征在于，所述纯化装置还包括第二浓度检测仪，所述第二浓度检测仪连接于所述混合罐，用于检测所述混合罐内的氦气浓度，所述第二浓度检测仪与所述压缩装置通信连接。

10.根据权利要求9所述的氦气回收系统，其特征在于，所述纯化装置还包括第二压力传感器，所述第二压力传感器连接于所述混合罐，用于检测所述混合罐内的气体压力，所述第二压力传感器与所述压缩装置通信连接。