[实用新型]一种单晶炉下轴保护装置有效
申请号: | 202222693225.2 | 申请日: | 2022-10-13 |
公开(公告)号: | CN218436021U | 公开(公告)日: | 2023-02-03 |
发明(设计)人: | 李安君;许堃;吴超慧;朱厚军;罗昌萍 | 申请(专利权)人: | 宇泽半导体(云南)有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B29/06 |
代理公司: | 昆明合众智信知识产权事务所 53113 | 代理人: | 卓红 |
地址: | 675000 云南省楚雄彝族*** | 国省代码: | 云南;53 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 单晶炉下轴 保护装置 | ||
1.一种单晶炉下轴保护装置,包括托杆(1),所述托杆(1)安装在单晶炉下轴(2)上,其特征在于:所述托杆(1)的外侧上部安装有底加(4),所述底加(4)的下方设置有防漏护板(5),所述防漏护板(5)的底部安装有副石墨电极(6),所述托杆(1)的中部外侧套设有托杆保护环(3),所述托杆保护环(3)的外径满足能够自由穿过底加(4),所述托杆(1)从托杆保护环(3)的中心穿过,进而和单晶炉下轴(2)装配一起。
2.根据权利要求1所述的单晶炉下轴保护装置,其特征在于:所述托杆(1)的外侧套设有托杆护筒(11)。
3.根据权利要求2所述的单晶炉下轴保护装置,其特征在于:所述防漏护板(5)、安装在副石墨电极(6)、底加(4)、托杆护筒(11)位于单晶炉内部。
4.根据权利要求2所述的单晶炉下轴保护装置,其特征在于:所述托杆护筒(11)的内壁与托杆(1)的外壁之间缝隙小于10mm。
5.根据权利要求1所述的单晶炉下轴保护装置,其特征在于:所述托杆保护环(3)与托杆护筒(11)同心设置,且安装在防漏护板(5)的上方。
6.根据权利要求1所述的单晶炉下轴保护装置,其特征在于:所述托杆保护环(3)的内径比托杆(1)的外径大5-6mm。
7.根据权利要求1所述的单晶炉下轴保护装置,其特征在于:所述托杆保护环(3)的上沿楔形设计,总厚度8-10mm,所述托杆保护环(3)材质为等静压石墨。
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