[实用新型]一种金属加工退火炉

说明书

本实用新型提供一种金属加工退火炉，涉及退火炉技术领域，该金属加工退火炉包括退火炉，所述退火炉的中部设置有支撑框，所述支撑框的左右两侧均固定连接有转动在退火炉侧壁的支撑管，其中一个所述支撑管的一侧设置有用于驱动其转动的驱动机构，所述支撑框的内部设置有丝杆，所述丝杆上下两端的外部均螺纹连接有挡板，所述丝杆的外部螺纹连接有位于两个挡板之间的放置盘，所述放置盘的内部开设有多个限位孔；通过转动两个挡板使其沿丝杆滑动，根据待加工金属管的长度对两个挡板之间的距离进行一定调整，通过转动放置盘使其沿丝杆下降至位于下方的挡板顶部，而后将金属管插入放置盘中的限位孔内部，由挡板对金属管底部进行支撑。

技术领域

本实用新型涉及退火炉技术领域，具体是一种金属加工退火炉。

背景技术

退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能，热处理是针对不同的效果而设计的，可以加热晶片以激活掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，修复注入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底，退火炉可以集成到其他炉子处理步骤中，例如氧化，或者可以自己处理。

在授权公告号为CN212270186U的中国专利中公开了一种金属锻造加工用退火炉，包括炉体和炉座，所述炉体安装在炉座上端外壁上，所述炉座前端外壁上设置有底座，所述底座后端外壁上设置有固定座，所述固定座后端外壁上设置有油缸，所述固定座前端外壁上设置有液压杆，所述液压杆前端外壁上设置有炉盖，所述炉盖上端外壁上设置有机座，通过增加前放置盘和后放置盘，这样就可以将金属管放置在前放置盘和后放置盘上，在对金属管进行退火时，使得金属管受热更加均匀。

但是，上述技术方案还存在以下缺陷，该设备在使用时，金属管位于放置盘内部的部分受到放置盘的阻挡遮蔽，导致金属管局部受热效果较差，容易造成金属管整体退火效果的下降，产品质量的降低。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种金属加工退火炉，旨在解决现有技术中的金属管位于放置盘内部的部分受到放置盘的阻挡遮蔽，金属管局部受热效果较差的问题。

为实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案：所述金属加工退火炉，包括：退火炉，所述退火炉的中部设置有支撑框，所述支撑框的左右两侧均固定连接有转动在退火炉侧壁的支撑管，其中一个所述支撑管的一侧设置有用于驱动其转动的驱动机构，所述支撑框的内部设置有丝杆，所述丝杆上下两端的外部均螺纹连接有挡板，所述丝杆的外部螺纹连接有位于两个挡板之间的放置盘，所述放置盘的内部开设有多个限位孔。

为了使得本实用新型具有较好的驱动支撑管转动的作用，本实用新型的进一步的技术方案为，所述驱动机构包括固定安装在退火炉侧壁的第一电机，所述第一电机的输出端固定安装有主动皮带轮，其中一个所述支撑管的外部固定安装有从动皮带轮，所述主动皮带轮与从动皮带轮之间设置有传动带。

为了使得本实用新型具有较好的对金属管降温的作用，本实用新型的进一步的技术方案为，所述支撑框的内部开设有与支撑管相连通的空腔，所述支撑框左右相对的两侧均开设有与空腔相连通的通孔，所述退火炉的侧壁设置有冷风机，所述支撑管的端部转动连接在冷风机的内部。

为了使得本实用新型具有较好的驱动丝杆转动的作用，本实用新型的进一步的技术方案为，所述丝杆与支撑框之间为转动连接有，且所述丝杆的顶端设置有用于驱动其转动的第二电机。

为了使得本实用新型具有提高金属管退火容纳量的作用，本实用新型的进一步的技术方案为，所述丝杆的数量为多个，且多个所述丝杆沿支撑框长度方向等距分布。

为了使得本实用新型具有较好的对金属管端部进行保护的作用，本实用新型的进一步的技术方案为，所述挡板的靠近放置盘的一侧设置有缓冲垫。