[实用新型]一种清洁系统

说明书

本实用新型提供了一种清洁系统，包括清洁系统箱、空气净化室和前灰尘过滤室，所述清洁系统箱的内前部设置有电解室，且电解室的后侧设置有第一间隔室，所述第一间隔室的后侧设置有吸附沉淀室，且吸附沉淀室的后侧设置有氮气吸附室，所述清洁系统箱的前端固定有前灰尘过滤室，且清洁系统箱的后端固定有空气净化室，所述清洁系统箱的下端面左右两部均固定有支撑柱，且支撑柱的下端固定在底座上；所述电解室内中部安装有多组正极板和负极板，且每两组正极板之间间隔有一组负极板。本实用新型方便对三氟化氮进行先去尘后电解分离，再吸附掉氟离子后沉淀下落，再吸附氮气去除异味，清洁处理更干净彻底，排放安全可靠，更绿色环保。

技术领域

本实用新型涉及清洁系统技术领域，具体涉及一种清洁系统。

背景技术

三氟化氮(NF3)在常温下是一种无色、无臭、性质稳定的气体，在微电子、半导体、光电子、光伏等行业都会用到，是使用频率比较多的气体之一；三氟化氮同时又是一种毒性物质，具有强氧化性，与还原剂能发生强烈反应，引起燃烧爆炸。

在对比文件“CN201510063726.4 三氟化氮废气处理系统及处理方法”的说明书中提及“所述进气管包括用于输送待处理的三氟化氮气体的第一进气管和用于输送吹扫气体的第二进气管；所述加热装置一端与所述吸附装置连通，另一端与所述第一进气管连通，且所述第一进气管的进口设有第一球阀；所述吸附装置一端同时与所述加热装置和所述第二进气管连通，且在与所述第二进气管连通的管路上设有第一手动阀门；所述吸附装置的另一端与所述出气管连通，且所述出气管的出口设有第二球阀”，但是，对比文件中的三氟化氮废气处理需要进行高温加热，不仅所耗费的热量颇多，而且长期高温处理对设备的损耗也大，使用并不经济方便。

实用新型内容

为克服现有技术所存在的缺陷，现提供一种清洁系统，以解决对比文件中的三氟化氮废气处理需要进行高温加热，不仅所耗费的热量颇多，而且长期高温处理对设备的损耗也大，使用并不经济方便的问题。

为实现上述目的，提供一种清洁系统，包括清洁系统箱、空气净化室和前灰尘过滤室，所述清洁系统箱的内前部设置有电解室，且电解室的后侧设置有第一间隔室，所述第一间隔室的后侧设置有吸附沉淀室，且吸附沉淀室的后侧设置有氮气吸附室，所述清洁系统箱的前端固定有前灰尘过滤室，且清洁系统箱的后端固定有空气净化室，所述清洁系统箱的下端面左右两部均固定有支撑柱，且支撑柱的下端固定在底座上。

进一步的，所述电解室内中部安装有多组正极板和负极板，且每两组正极板之间间隔有一组负极板。

进一步的，所述第一间隔室内设置有一组第一输送管，且第一输送管的上端设置有第二涡轮风扇，并且第二涡轮风扇位于电解室的后侧上端，且第一输送管的下端通向吸附沉淀室的内底部。

进一步的，所述吸附沉淀室内装有清洁液，且吸附沉淀室的上端设置有进液管口，且吸附沉淀室的下端设置有排污管口，并且进液管口和排污管口上均安装有一组电磁控制阀。

进一步的，所述氮气吸附室内前部上设置有第二输送管，第二输送管的上端安装有第三涡轮风扇，且第三涡轮风扇位于吸附沉淀室的后侧上端，并且氮气吸附室内后部依次设置有前碳分子筛层、中碳分子筛层和后碳分子筛层，且的后端设置有内排气管口，内排气管口内安装有第四涡轮风扇。

进一步的，所述空气净化室内前部依次设置有前活性炭层、中活性炭层和后活性炭层，且空气净化室的后端设置有外排气管口,并且外排气管口内安装有第五涡轮风扇。

进一步的，所述前灰尘过滤室内后部安装有三组防尘透气网，且前灰尘过滤室的前端设置有进气口，并且进气口内安装有第一涡轮风扇。

本实用新型的有益效果在于：

1.本实用新型中前灰尘过滤室的设置有助于去除气体中的含尘颗粒物，进行初步过滤处理，可处理掉所抽取气体的大部分脏污杂质。