[实用新型]高效利用热能的三氯氢硅精馏装置

权利要求书

1.一种高效利用热能的三氯氢硅精馏装置，其特征在于：包括进料管道、一级精馏装置、一级侧采管道、精馏二塔、二级侧采管道、精馏三塔、三级侧采管道、四级精馏装置、四级侧采管道、精馏五塔、第一回流装置、第二回流装置，所述进料管道的出口与一级精馏装置的侧采进口连接，一级精馏装置的侧采出口与一级侧采管道的进口连接，一级侧采管道的出口与精馏二塔的侧采进口连接，精馏二塔的侧采出口与二级侧采管道的进口连接，二级侧采管道的出口与精馏三塔的侧采进口连接，精馏三塔的侧采出口与三级塔侧采管道的进口连接，三级侧采管道的出口与四级精馏装置的侧采进口连接，四级精馏装置的侧采出口与四级侧采管道的进口连接，四级侧采管道的出口与精馏五塔的侧采进口连接，精馏二塔的顶部与第一回流装置的进口连接，第一回流装置的出口与一级精馏装置的底部进口连接，精馏五塔的顶部与第二回流装置的进口连接，第二回流装置的出口与四级精馏装置的底部进口连接。

2.如权利要求1所述的高效利用热能的三氯氢硅精馏装置，其特征在于：所述一级精馏装置包括精馏一塔、一塔再沸器，所述精馏一塔的底部设有一塔釜液出口和一塔釜液进口，所述一塔釜液出口与一塔再沸器的壳程进口连接，一塔再沸器的壳程出口与一塔釜液进口连接。

3.如权利要求1所述的高效利用热能的三氯氢硅精馏装置，其特征在于：所述第一回流装置包括二塔塔顶气相管道和第一联合管道、二塔回流罐、二塔回流泵、二塔回流管道，所述精馏二塔的顶部设有第一气体出口，第一气体出口与二塔塔顶气相管道的进口连接，二塔塔顶气相管道的出口与一塔再沸器的管程进口连接，一塔再沸器的管程出口与第一联合管道的进口连接，第一联合管道的出口与二塔回流罐的进口连接，二塔回流罐的出口与二塔回流泵的进口连接，二塔回流泵的出口与二塔回流管道的进口连接，二塔回流管道的出口与精馏二塔通过管道连接。

4.如权利要求1所述的高效利用热能的三氯氢硅精馏装置，其特征在于：所述四级精馏装置包括精馏四塔、四塔再沸器，所述精馏四塔的底部设有四塔釜液出口和四塔釜液进口，所述四塔釜液出口与四塔再沸器的壳程进口连接，四塔再沸器的壳程出口与四塔釜液进口连接。

5.如权利要求1所述的高效利用热能的三氯氢硅精馏装置，其特征在于：所述第二回流装置包括五塔塔顶气相管道和第二联合管道、五塔回流罐、五塔回流泵、五塔回流管道，所述精馏五塔的顶部设有第二气体出口，第二气体出口与五塔塔顶气相管道的进口连接，五塔塔顶气相管道的出口与四塔再沸器的管程进口连接，四塔再沸器的管程出口与第二联合管道的进口连接，第二联合管道的出口与五塔回流罐的进口连接，五塔回流罐的出口与五塔回流泵的进口连接，五塔回流泵的出口与五塔回流管道的进口连接，五塔回流管道的出口与精馏四塔通过管道连接。