[实用新型]化学机械平坦化(CMP)垫调节器组合件有效
申请号: | 202222620958.3 | 申请日: | 2022-09-29 |
公开(公告)号: | CN218518401U | 公开(公告)日: | 2023-02-24 |
发明(设计)人: | D·耶内尔;J·里韦尔斯;E·巴卢;F·A·科代 | 申请(专利权)人: | 恩特格里斯公司 |
主分类号: | B24B37/34 | 分类号: | B24B37/34;B24B37/20 |
代理公司: | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人: | 李婷 |
地址: | 美国马*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 化学 机械 平坦 cmp 调节器 组合 | ||
1.一种化学机械平坦化CMP垫调节器组合件,其特征在于所述组合件包括:
背板,所述背板包括:
第一面及第二面,其中所述第一面包含多个第一安装位置且其中所述第二面包含多个第二安装位置,
多个段,其在所述多个第一安装位置处固定到所述第一面,其中所述多个段中的每一者包括:
衬底,其具有第一表面及第二表面,其中所述第一表面与所述第二表面相对;及
多个突起,其与所述衬底一体化以远离所述第一表面突出,其中所述多个突起涂覆有保形金刚石层,及
多个第二段,其在所述多个第二安装位置处固定到所述第二面,其中所述多个第二段中的每一者包含:
衬底,其具有第一表面及第二表面,其中所述第一表面与所述第二表面相对;多个突起,其与所述衬底一体化以与远离所述第一表面突出,其中所述多个突起涂覆有保形金刚石层。
2.一种化学机械平坦化CMP垫调节器组合件,其特征在于所述组合件包括:
背板,所述背板包括:
第一面及第二面;
多个安装位置;
井,其在所述多个安装位置中的每一者中且凹入到所述背板中;及
多个段,其在所述多个安装位置处固定到所述背板,其中所述多个段中的每一者包括:
衬底,其具有第一表面及第二表面,其中所述第一表面与所述第二表面相对;多个突起,其与所述衬底一体化且远离所述第一表面突出;其中所述多个突起涂覆有保形金刚石层;及
第二多个突起,其与所述第二表面一体化且远离所述第二表面突出,其中所述第二多个突起涂覆有保形金刚石层;
其中所述多个安装位置中的每一者中的所述井具有比在所述多个安装位置处固定到所述背板的所述多个段更小的表面积。
3.根据权利要求1或2所述的组合件,其特征在于所述背板包括不锈钢。
4.根据权利要求1或2所述的组合件,其特征在于所述背板包括聚合物。
5.根据权利要求4所述的组合件,其特征在于所述背板由增材制造工艺制成。
6.根据权利要求1所述的组合件,其特征在于所述多个第一安装位置或所述多个第二安装位置中的一或多者凹入到所述背板中且包括凹入到所述背板中的井。
7.根据权利要求2所述的组合件,其特征在于所述多个安装位置是所述背板中的孔。
8.根据权利要求2所述的组合件,其特征在于所述多个段中的每一者是相同的。
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